Mustriga safiiraluspind PSS 2-tolline 4-tolline 6-tolline ICP kuivsöövitus LED-kiipide jaoks
Põhiomadus
1. Materjali omadused: Alusmaterjal on monokristalliline safiir (Al₂O₃), millel on kõrge kõvadus, kõrge kuumakindlus ja keemiline stabiilsus.
2. Pinna struktuur: pind moodustatakse fotolitograafia ja söövitamise teel perioodilisteks mikro-nanostruktuurideks, näiteks koonusteks, püramiididena või kuusnurkseteks massiivideks.
3. Optiline jõudlus: Pinna mustri kujundamise abil väheneb valguse täielik peegeldus liidesel ja paraneb valguse eraldamise efektiivsus.
4. Soojusomadused: Safiir-substraadil on suurepärane soojusjuhtivus, mis sobib suure võimsusega LED-rakenduste jaoks.
5. Suuruse spetsifikatsioonid: Levinud suurused on 2 tolli (50,8 mm), 4 tolli (100 mm) ja 6 tolli (150 mm).
Peamised rakendusvaldkonnad
1. LED-ide tootmine:
Täiustatud valguse väljavõtmise efektiivsus: PSS vähendab mustrilise disaini abil valguse kadu, parandades oluliselt LED-i heledust ja valgusviljakust.
Parandatud epitaksiaalse kasvu kvaliteet: mustriline struktuur pakub paremat kasvubaasi GaN-i epitaksiaalsetele kihtidele ja parandab LED-ide jõudlust.
2. Laserdiood (LD):
Suure võimsusega laserid: PSS-i kõrge soojusjuhtivus ja stabiilsus sobivad suure võimsusega laserdioodidele, parandades soojuse hajumise jõudlust ja töökindlust.
Madal lävivool: optimeerib epitaksiaalset kasvu, vähendab laserdioodi lävivoolu ja parandab efektiivsust.
3. Fotodetektor:
Suur tundlikkus: PSS-i kõrge valguse läbilaskvus ja madal defektide tihedus parandavad fotodetektori tundlikkust ja reageerimiskiirust.
Lai spektraalne vastus: sobib fotoelektriliseks tuvastamiseks ultraviolett- ja nähtava valguse vahemikus.
4. Jõuelektroonika:
Kõrge pingetaluvus: Sapphire'i kõrge isolatsioonivõime ja termiline stabiilsus sobivad kõrgepingeseadmetele.
Tõhus soojuse hajutamine: kõrge soojusjuhtivus parandab toiteseadmete soojuse hajumise jõudlust ja pikendab kasutusiga.
5. Rf-seadmed:
Kõrgsageduslik jõudlus: PSS-i madal dielektriline kadu ja kõrge termiline stabiilsus sobivad kõrgsageduslike raadiosageduslike seadmete jaoks.
Madal müratase: kõrge tasapinnalisus ja madal defektide tihedus vähendavad seadme müra ja parandavad signaali kvaliteeti.
6. Biosensorid:
Kõrge tundlikkusega tuvastamine: PSS-i kõrge valguse läbilaskvus ja keemiline stabiilsus sobivad kõrge tundlikkusega biosensorite jaoks.
Bioloogiline ühilduvus: Safiiri bioloogiline ühilduvus muudab selle sobivaks meditsiiniliseks ja biodetektiivseks kasutamiseks.
Mustriga safiiraluspind (PSS) GaN epitaksiaalse materjaliga:
Mustriga safiiraluspind (PSS) on ideaalne aluspind GaN-i (galliumnitriidi) epitaksiaalse kasvu jaoks. Safiiri võrekonstant on GaN-i omale lähedane, mis aitab vähendada võre ebakõlasid ja epitaksiaalse kasvu defekte. PSS-pinna mikro-nanostruktuur mitte ainult ei paranda valguse eraldamise efektiivsust, vaid parandab ka GaN-i epitaksiaalse kihi kristallide kvaliteeti, parandades seeläbi LED-i jõudlust ja töökindlust.
Tehnilised parameetrid
| Ese | Mustriga safiiraluspind (2–6 tolli) | ||
| Läbimõõt | 50,8 ± 0,1 mm | 100,0 ± 0,2 mm | 150,0 ± 0,3 mm |
| Paksus | 430 ± 25 μm | 650 ± 25 μm | 1000 ± 25 μm |
| Pinna orientatsioon | C-tasapinna (0001) nurk M-telje suhtes (10-10) 0,2 ± 0,1° | ||
| C-tasapinna (0001) nurk A-telje suunas (11-20) 0 ± 0,1° | |||
| Esmane tasane orientatsioon | A-tasand (11-20) ± 1,0° | ||
| Esmane tasapinnaline pikkus | 16,0 ± 1,0 mm | 30,0 ± 1,0 mm | 47,5 ± 2,0 mm |
| R-tasand | kell 9 | ||
| Esipinna viimistlus | Mustriline | ||
| Tagumise pinna viimistlus | SSP: peeneks jahvatatud, Ra = 0,8–1,2 μm; DSP: epipoleeritud, Ra <0,3 nm | ||
| Lasermärk | Tagumine külg | ||
| TTV | ≤8 μm | ≤10 μm | ≤20 μm |
| VIBU | ≤10 μm | ≤15 μm | ≤25 μm |
| WARP | ≤12 μm | ≤20 μm | ≤30 μm |
| Servade välistamine | ≤2 mm | ||
| Mustri spetsifikatsioon | Kuju struktuur | Kuppel, koonus, püramiid | |
| Mustri kõrgus | 1,6–1,8 μm | ||
| Mustri läbimõõt | 2,75–2,85 μm | ||
| Mustriruum | 0,1–0,3 μm | ||
XKH on spetsialiseerunud kvaliteetsete, kohandatud mustriga safiirpindade (PSS) pakkumisele koos tehnilise toe ja müügijärgse teenindusega, et aidata klientidel saavutada tõhusat innovatsiooni LED-ide, ekraanide ja optoelektroonika valdkonnas.
1. Kvaliteetne PSS-tarvik: mustrilised safiir-aluspinnad erinevates suurustes (2", 4", 6") LED-, ekraani- ja optoelektroonikaseadmete vajaduste rahuldamiseks.
2. Kohandatud disain: kohandage pinna mikro-nanostruktuuri (näiteks koonuse, püramiidi või kuusnurkse massiivi) vastavalt kliendi vajadustele, et optimeerida valguse eraldamise efektiivsust.
3. Tehniline tugi: Pakkuge PSS-rakenduste disaini, protsesside optimeerimist ja tehnilist konsultatsiooni, et aidata klientidel toote toimivust parandada.
4. Epitaksiaalse kasvu tugi: kvaliteetse epitaksiaalse kihi kasvu tagamiseks on ette nähtud GaN epitaksiaalse materjaliga sobitatud PSS.
5. Testimine ja sertifitseerimine: esitage PSS-i kvaliteedikontrolli aruanne, et tagada toodete vastavus tööstusstandarditele.
Detailne diagramm
