6-tollised 150 mm ränikarbiidist SiC vahvlid 4H-N tüüpi MOS- või SBD-tootmiseks, uurimis- ja mannekeenkvaliteediga
Rakendusvaldkonnad
6-tolline ränikarbiidist monokristall-alusplaat mängib olulist rolli mitmes tööstusharus. Esiteks kasutatakse seda laialdaselt pooljuhtide tööstuses suure võimsusega elektroonikaseadmete, näiteks võimsustransistoride, integraallülituste ja võimsusmoodulite valmistamiseks. Selle kõrge soojusjuhtivus ja kõrge temperatuuritaluvus võimaldavad paremat soojuse hajumist, mille tulemuseks on parem efektiivsus ja töökindlus. Teiseks on ränikarbiidist vahvlid olulised uurimisvaldkondades uute materjalide ja seadmete väljatöötamiseks. Lisaks leiab ränikarbiidist vahvel laialdasi rakendusi optoelektroonika valdkonnas, sealhulgas LED-ide ja laserdioodide tootmisel.
Toote spetsifikatsioonid
6-tollise ränikarbiidist monokristalli substraadi läbimõõt on 6 tolli (umbes 152,4 mm). Pinna karedus on Ra < 0,5 nm ja paksus 600 ± 25 μm. Substraati saab vastavalt kliendi vajadustele kohandada kas N-tüüpi või P-tüüpi juhtivusega. Lisaks on sellel erakordne mehaaniline stabiilsus, mis talub rõhku ja vibratsiooni.
| Läbimõõt | 150 ± 2,0 mm (6 tolli) | ||||
| Paksus | 350 μm ± 25 μm | ||||
| Orientatsioon | Teljel: <0001> ±0,5° | Teljeväline nurk: 4,0° 1120 ± 0,5° suunas | |||
| Polüütüüp | 4H | ||||
| Eritakistus (Ω·cm) | 4H-N | 0,015-0,028 Ω·cm/0,015-0,025 oomi·cm | |||
| 4/6H-SI | >1E5 | ||||
| Esmane tasane orientatsioon | {10–10}±5,0° | ||||
| Primaarne tasapinnaline pikkus (mm) | 47,5 mm ± 2,5 mm | ||||
| Äär | Kaldumine | ||||
| TTV/vibu/lõime (um) | ≤15 / ≤40 / ≤60 | ||||
| AFM esikülg (Si-pind) | Poola Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0,5 nm | |||||
| Eluaegne väärtus | ≤3 μm (10 mm * 10 mm) | ≤5 μm (10 mm * 10 mm) | ≤10 μm (10 mm * 10 mm) | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm | ||
| Apelsinikoor/augud/praod/saastumine/plekid/triibud | Puudub | Puudub | Puudub | ||
| taanded | Puudub | Puudub | Puudub | ||
6-tolline ränikarbiidist monokristall-substraat on kõrgjõudlusega materjal, mida kasutatakse laialdaselt pooljuhtide, teadus- ja optoelektroonika tööstuses. See pakub suurepärast soojusjuhtivust, mehaanilist stabiilsust ja kõrget temperatuurikindlust, mistõttu sobib see suure võimsusega elektroonikaseadmete valmistamiseks ja uute materjalide uurimiseks. Pakume erinevaid spetsifikatsioone ja kohandamisvõimalusi, et rahuldada klientide mitmekesiseid nõudmisi.Lisateabe saamiseks ränikarbiidist vahvlite kohta võtke meiega ühendust!
Detailne diagramm
