6-tollised 150 mm ränikarbiidist ränikarbiidi vahvlid 4H-N tüüpi MOS- või SBD-tootmisuuringuteks ja näiv-kvaliteediga
Rakendusväljad
6-tolline ränikarbiidi monokristallsubstraat mängib paljudes tööstusharudes otsustavat rolli. Esiteks kasutatakse seda laialdaselt pooljuhtide tööstuses suure võimsusega elektroonikaseadmete, näiteks toitetransistorite, integraallülituste ja toitemoodulite valmistamiseks. Selle kõrge soojusjuhtivus ja vastupidavus kõrgele temperatuurile võimaldavad paremat soojuse hajumist, mille tulemuseks on parem tõhusus ja töökindlus. Teiseks on ränikarbiidist vahvlid uute materjalide ja seadmete väljatöötamiseks hädavajalikud uurimisvaldkondades. Lisaks leiab ränikarbiidist vahvel laialdasi rakendusi optoelektroonika valdkonnas, sealhulgas LED-ide ja laserdioodide valmistamisel.
Toote spetsifikatsioonid
6-tollise ränikarbiidi monokristall-substraadi läbimõõt on 6 tolli (umbes 152,4 mm). Pinna karedus on Ra < 0,5 nm ja paksus on 600 ± 25 μm. Substraati saab kohandada vastavalt kliendi nõudmistele kas N- või P-tüüpi juhtivusega. Lisaks on sellel erakordne mehaaniline stabiilsus, mis talub survet ja vibratsiooni.
Läbimõõt | 150±2,0 mm (6 tolli) | ||||
Paksus | 350 μm±25 μm | ||||
Orienteerumine | Teljel: <0001>±0,5° | Teljest väljas: 4,0° 1120±0,5° suunas | |||
Polütüüp | 4H | ||||
Takistus (Ω·cm) | 4H-N | 0,015-0,028 Ω·cm/0,015-0,025 oomi·cm | |||
4/6H-SI | >1E5 | ||||
Esmane tasane orientatsioon | {10-10}±5,0° | ||||
Esmane lame pikkus (mm) | 47,5 mm±2,5 mm | ||||
Edge | Chamfer | ||||
TTV/vibu/lõime (um) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
AFM eesmine (Si-face) | Poola Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0,5 nm | |||||
LTV | ≤3 μm (10 mm * 10 mm) | ≤5 μm (10 mm * 10 mm) | ≤10 μm (10 mm * 10 mm) | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm | ||
Apelsinikoor/süvendid/praod/saaste/plekid/triibud | Mitte ühtegi | Mitte ühtegi | Mitte ühtegi | ||
taanded | Mitte ühtegi | Mitte ühtegi | Mitte ühtegi |
6-tolline ränikarbiidi monokristallsubstraat on suure jõudlusega materjal, mida kasutatakse laialdaselt pooljuhtide, teadusuuringute ja optoelektroonikatööstuses. See pakub suurepärast soojusjuhtivust, mehaanilist stabiilsust ja vastupidavust kõrgele temperatuurile, muutes selle sobivaks suure võimsusega elektroonikaseadmete valmistamiseks ja uute materjalide uurimiseks. Pakume erinevaid spetsifikatsioone ja kohandamisvõimalusi, et rahuldada klientide erinevaid nõudmisi.Ränikarbiidist vahvlite kohta lisateabe saamiseks võtke meiega ühendust!