4-tolline kõrge puhtusastmega Al2O3 99,999% safiirsubstraadi vahvel Dia101,6 × 0,65 mmt primaarse lameda pikkusega
Kirjeldus
4-tolliste safiirplaatide ühised spetsifikatsioonid on esitatud järgmiselt:
Paksus: tavaliste safiirplaatide paksus on vahemikus 0,2–2 mm ja konkreetset paksust saab vastavalt kliendi vajadustele kohandada.
Paigutusserv: Vahvli servas on tavaliselt väike osa, mida nimetatakse "paigutusservaks", mis kaitseb vahvli pinda ja serva ning on tavaliselt amorfne.
Pinna ettevalmistus: Tavalised safiirplaadid lihvitakse mehaaniliselt ja poleeritakse keemiliselt mehaaniliselt pinna silumiseks.
Pinna omadused: Safiirplaatide pinnal on tavaliselt head optilised omadused, näiteks madal peegeldusvõime ja madal murdumisnäitaja, et parandada seadme jõudlust.
Rakendused
● Kasvusubstraat III-V ja II-VI ühenditele
● Elektroonika ja optoelektroonika
● IR-rakendused
● Ränil safiirpõhine integraallülitus (SOS)
● Raadiosageduslik integraallülitus (RFIC)
Spetsifikatsioon
| Ese | 4-tollised C-tasandiga (0001) 650 μm safiirvahvlid | |
| Kristallmaterjalid | 99,999%, kõrge puhtusastmega, monokristalliline Al2O3 | |
| Hinne | Prime, Epi-Ready | |
| Pinna orientatsioon | C-tasand (0001) | |
| C-tasandi nurk M-telje suhtes 0,2 +/- 0,1° | ||
| Läbimõõt | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
| Paksus | 650 μm +/- 25 μm | |
| Esmane tasane orientatsioon | A-tasand (11-20) +/- 0,2° | |
| Esmane tasapinnaline pikkus | 30,0 mm +/- 1,0 mm | |
| Ühepoolne poleeritud | Esipind | Epipoleeritud, Ra < 0,2 nm (AFM-i järgi) |
| (Ühisteenuste osutaja) | Tagumine pind | Peenlihvimine, Ra = 0,8 μm kuni 1,2 μm |
| Kahepoolne poleeritud | Esipind | Epipoleeritud, Ra < 0,2 nm (AFM-i järgi) |
| (DSP) | Tagumine pind | Epipoleeritud, Ra < 0,2 nm (AFM-i järgi) |
| TTV | < 20 μm | |
| VIBU | < 20 μm | |
| WARP | < 20 μm | |
| Puhastamine / Pakendamine | 100. klassi puhasruumide puhastus ja vaakumpakend, | |
| 25 tükki ühes kassettpakendis või üksikpakendis. | ||
Meil on safiiride töötlemise valdkonnas pikaajaline kogemus. Oleme tegutsenud nii Hiina tarnijate turul kui ka rahvusvahelisel nõudlusturul. Kui teil on mingeid vajadusi, võtke meiega julgelt ühendust.
Detailne diagramm
