4-tolline kõrge puhtusastmega Al2O3 99,999% safiirist substraatvahv Dia101,6 × 0,65 mmt esmase lameda pikkusega
Kirjeldus
4-tolliste safiirvahvlite üldised spetsifikatsioonid on esitatud järgmiselt:
Paksus: tavaliste safiirvahvlite paksus on vahemikus 0,2 mm kuni 2 mm ja konkreetset paksust saab kohandada vastavalt kliendi nõudmistele.
Paigutuse serv: vahvli servas on tavaliselt väike osa, mida nimetatakse "paigutusservaks", mis kaitseb vahvli pinda ja serva ning on tavaliselt amorfne.
Pinna ettevalmistamine: tavalised safiirvahvlid lihvitakse mehaaniliselt ja keemiliselt mehaaniliselt poleeritakse, et pinda siluda.
Pinna omadused: safiirplaatide pinnal on seadme jõudluse parandamiseks tavaliselt head optilised omadused, nagu madal peegeldusvõime ja madal murdumisnäitaja.
Rakendused
● III-V ja II-VI ühendite kasvusubstraat
● Elektroonika ja optoelektroonika
● IR-rakendused
● Silicon On Sapphire integraallülitus (SOS)
● Raadiosageduslik integraallülitus (RFIC)
Spetsifikatsioon
Üksus | 4-tollised C-tasapinnalised (0001) 650 μm safiirvahvlid | |
Kristallmaterjalid | 99 999%, kõrge puhtusastmega, monokristalliline Al2O3 | |
Hinne | Prime, Epi-valmis | |
Pinna orientatsioon | C-tasand (0001) | |
C-tasandi kaldenurk M-telje suhtes 0,2 +/- 0,1° | ||
Läbimõõt | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
Paksus | 650 μm +/- 25 μm | |
Esmane tasapinnaline orientatsioon | A-tasand(11-20) +/- 0,2° | |
Esmane tasapinnaline pikkus | 30,0 mm +/- 1,0 mm | |
Ühepoolne poleeritud | Esipind | Epipoleeritud, Ra < 0,2 nm (AFM järgi) |
(SSP) | Tagumine pind | Peenlihvimine, Ra = 0,8 μm kuni 1,2 μm |
Kahepoolne poleeritud | Esipind | Epipoleeritud, Ra < 0,2 nm (AFM järgi) |
(DSP) | Tagumine pind | Epipoleeritud, Ra < 0,2 nm (AFM järgi) |
TTV | < 20 μm | |
VIBU | < 20 μm | |
VÄIDUMINE | < 20 μm | |
Puhastamine / pakendamine | Klass 100 puhaste ruumide puhastus ja vaakumpakendamine, | |
25 tk ühes kassettpakendis või üheosalises pakendis. |
Meil on paljude aastate kogemus safiiri töötlemise valdkonnas. Sealhulgas Hiina tarnijate turg, aga ka rahvusvaheline nõudlusturg. Kui teil on vajadusi, võtke meiega julgelt ühendust.