12-tolline Dia300x1.0mmt safiirvahvli aluspind C-tasapinnaga SSP/DSP
12-tollise safiirsubstraadi turuolukord
Praegu on safiiril kaks peamist kasutusala: üks on alusmaterjal, mis on peamiselt LED-alusmaterjal, teine on kella sihverplaat, lennundus, lennundus, spetsiaalne aknamaterjal.
Kuigi lisaks safiiridele on LED-ide alusmaterjalina saadaval ka ränikarbiid, räni ja galliumnitriid, pole masstootmine kulude ja mõningate lahendamata tehniliste kitsaskohtade tõttu veel võimalik. Safiir-alusmaterjali tehniline areng on viimastel aastatel oluliselt parandanud ja edendanud oma võre sobivust, elektrijuhtivust, mehaanilisi omadusi, soojusjuhtivust ja muid omadusi. Kulutõhususe eelis on märkimisväärne, mistõttu on safiirist saanud LED-tööstuses kõige küpsem ja stabiilsem alusmaterjal, mida on turul laialdaselt kasutatud ja mille turuosa ulatub kuni 90%-ni.
12-tollise safiirvahvli aluspinna iseloomulik
1. Safiirpindadel on äärmiselt madal osakeste arv, 2–8-tollise suurusvahemiku juures on 2 tolli kohta vähem kui 50 osakest suurusega 0,3 mikronit või rohkem ning peamiste metallide (K, Ti, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn) osakeste arv on alla 2E10/cm2. Ka 12-tollise alusmaterjali puhul eeldatakse, et see klass saavutatakse.
2. Saab kasutada kandeplaadina 12-tollise pooljuhtide tootmisprotsessis (seadmesisesed transpordialused) ja alusmaterjalina liimimiseks.
3. Oskab kontrollida nõgusa ja kumera pinna kuju.
Materjal: kõrge puhtusastmega monokristall Al2O3, safiirplaat.
LED-kvaliteet, mullide, pragude, kaksikute, liinita, värvitu jne puudumine.
12-tollised safiirvahvlid
| Orientatsioon | C-tasand <0001> +/- 1 kraad |
| Läbimõõt | 300,0 +/-0,25 mm |
| Paksus | 1,0 +/-25 µm |
| Sälk | Sälk või tasane |
| TTV | <50 µm |
| VIBU | <50 µm |
| Servad | Proaktiivne kaldpind |
| Esikülg – poleeritud 80/50 | |
| Lasermärgistus | Puudub |
| Pakend | Ühe vahvli kandekast |
| Esikülg Epi-valmis poleeritud (Ra <0,3nm) | |
| Epi-valmis poleeritud tagakülg (Ra <0,3nm) | |
Detailne diagramm
