Ülitäpne SiC õhklaagriga lava

Lühike kirjeldus:

Pooljuhtide tööstuse pideva arenguga nõuavad töötlemis- ja kontrollseadmed üha suuremat jõudlust. Tuginedes ulatuslikule kogemusele liikumisjuhtimise ja nanomeetri tasemel positsioneerimise alal, oleme välja töötanud tasapinnalise H-tüüpi kaheteljelise ülitäpse õhklaagriga lava.

Saada meile e-kiri

Omadused

Detailne diagramm

Ülevaade

Lõplike elementide meetodile optimeeritud ränikarbiidist (SiC) keraamilise struktuuri ja kompenseeritud õhklaagritehnoloogiaga konstrueeritud lava pakub silmapaistvat täpsust, jäikust ja dünaamilist reageerimisvõimet. See sobib ideaalselt järgmisteks otstarveteks:

Pooljuhtide töötlemine ja kontroll
Mikro-/nanotehnoloogia tootmine ja metroloogia
Nanomeetri skaalal kärbselõikamine ja poleerimine
Kiire ja täpne skaneerimine

Peamised omadused

SiC õhklaagriga juhikülikõrge jäikuse ja täpsuse tagamiseks
Kõrge dünaamikakiirus kuni 1 m/s, kiirendus kuni 4 g, kiire settimine
Kahe ajamiga portaal-Y-telgtagab suure kandevõime ja stabiilsuse
Kodeerija valikudoptiline võre või laserinterferomeeter
Positsioneerimistäpsus±0,15 μm;korduvus: ±75 nm
Optimeeritud kaabli marsruutiminepuhta disaini ja pikaajalise töökindluse tagamiseks
Kohandatavad konfiguratsioonidrakendusepõhiste vajaduste jaoks

Ülitäpne disain ja otseajamiga kontaktivaba arhitektuur

SiC-keraamiline raam~5× alumiiniumisulami jäikus ja ~5× väiksem soojuspaisumine, mis tagab stabiilsuse suurel kiirusel ja termilise vastupidavuse.
Kompenseeritud õhklaagridPatenteeritud disain suurendab jäikust, kandevõimet ja liikumisstabiilsust.
Dünaamiline jõudlusToetab kiirust 1 m/s ja kiirendust 4 g, mis sobib ideaalselt suure läbilaskevõimega protsesside jaoks.
Sujuv integratsioonÜhildub vibratsiooniisolatsioonisüsteemide, pöördlavade, kaldmoodulite ja kiipide käsitsemisplatvormidega.
KaablihaldusKontrollitud painutusraadius vähendab pinget pikema kasutusea tagamiseks.

Südamikuta lineaarmootorSujuv liikumine ilma hammasratta löögita.
Mitmemootoriline ajamKoormustasandil paiknev mootor parandab sirgust, tasasust ja nurktäpsust.
Termiline isolatsioonMootorid on lavakonstruktsioonist isoleeritud; suure koormusega tsüklite jaoks on saadaval õhk- või vesijahutus.

Spetsifikatsioonid

Mudel	400–400	500-500	600–600
Kirved	X (skaneerimine) / Y (samm)	X (skaneerimine) / Y (samm)	X (skaneerimine) / Y (samm)
Liikumisulatus (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Täpsus (μm)	±0,15	±0,2	±0,2
Korduvus (nm)	±75	±100	±100
Eraldusvõime (nm)	0,3	0,3	0,3
Maksimaalne kiirus (m/s)	1	1	1
Kiirendus (g)	4	4	4
Sirgus (μm)	±0,2	±0,3	±0,4
Stabiilsus (nm)	±5	±5	±5
Maksimaalne koormus (kg)	20	20	20
Kallutus/rullumine/käändumine (kaaresekundid)	±1	±1	±1

Katsetingimused:

Õhuvarustus: puhas, kuiv; kastepunkt ≤ 0°F; osakeste filtreerimine ≤ 0,25 μm; või 99,99% lämmastikku.
Täpsus mõõdetuna 25 mm kõrgusel laua keskkohast temperatuuril 20±1 °C ja suhtelise õhuniiskuse juures 40–60%.

Rakendused

Pooljuhtide litograafia, kontroll ja kiipide käsitsemine
Mikro-/nanokonstruktsioonide valmistamine ja täppismetroloogia
Tipptasemel optika tootmine ja interferomeetria
Lennundus ja tipptasemel teadusuuringud

KKK – ränikarbiidist õhklaagriga lava

1. Mis on õhkpadjaga lava?

Õhukandjaga lava kasutab lava ja juhiku vahel õhukest suruõhukilet, et pakkudahõõrdumisvaba, kulumisvaba ja ülisujuv liikumineErinevalt tavapärastest mehaanilistest laagritest välistab see kleepuva libisemise, tagab nanomeetri täpsuse ja toetab pikaajalist töökindlust.

2. Miks kasutada lavakonstruktsiooni jaoks ränikarbiidi (SiC)?

Suur jäikus~5× alumiiniumisulamist, minimeerides deformatsiooni dünaamilise liikumise ajal.
Madal soojuspaisumine~5× madalam kui alumiiniumil, säilitades täpsuse temperatuurikõikumiste korral.
KergeMadalam tihedus võrreldes terasega, mis võimaldab kiiret ja suure kiirendusega töötamist.
Suurepärane stabiilsusSuurepärane summutus ja jäikus ülitäpseks positsioneerimiseks.

3. Kas lava vajab määrimist või hooldust?

Traditsioonilist määrimist pole vaja, kuna on olemasmehaanilist kontakti poleSoovitatav hooldus hõlmab järgmist:

Varustaminepuhas, kuiv suruõhk või lämmastik
Filtrite ja kuivatite perioodiline kontroll
Jälgimiskaablid ja jahutussüsteemid

4. Millised on õhuvarustuse nõuded?

Kastepunkt: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Osakeste filtreerimine: ≤ 0,25 μm
Puhas ja kuiv õhk või 99,99% puhas lämmastik
Stabiilne rõhk minimaalse kõikumisega

Meist

XKH on spetsialiseerunud spetsiaalse optilise klaasi ja uute kristallmaterjalide kõrgtehnoloogilisele arendamisele, tootmisele ja müügile. Meie tooted on mõeldud optilisele elektroonikale, tarbeelektroonikale ja sõjaväele. Pakume safiiroptilisi komponente, mobiiltelefonide objektiivikatteid, keraamikat, LT-d, ränikarbiidist SIC-i, kvartsist ja pooljuhtkristallplaate. Tänu oskusteabele ja tipptasemel seadmetele oleme silmapaistvad mittestandardsete toodete töötlemisel, seades eesmärgiks olla juhtiv optoelektrooniliste materjalide kõrgtehnoloogiline ettevõte.