Ränikarbiidist teemanttraadi lõikamismasin 4/6/8/12-tolline SiC valuplokkide töötlemine

Lühike kirjeldus:

Ränikarbiidist teemanttraadist lõikemasin on ülitäpne töötlemisseade, mis on ette nähtud ränikarbiidi (SiC) valuplokkide viilutamiseks, kasutades teemanttraadist sae tehnoloogiat, kus teemanttraat (joone läbimõõt 0,1–0,3 mm) liigub kiiresti ja mitmetraadiliselt ränikarbiidi valuplokkideks, et saavutada ülitäpne ja vähese kahjustusega kiipide ettevalmistamine. Seadet kasutatakse laialdaselt ränikarbiidist pooljuhtide (MOSFET/SBD), raadiosageduslike seadmete (GaN-on-SiC) ja optoelektrooniliste seadmete substraatide töötlemisel ning see on ränikarbiidi tööstusahela võtmeseade.

Saada meile e-kiri

Omadused

Tööpõhimõte:

1. Valuploki kinnitamine: SiC-valuplokk (4H/6H-SiC) kinnitatakse lõikeplatvormile kinnitusvahendi abil, et tagada positsioonitäpsus (±0,02 mm).

2. Teemantniidi liikumine: teemantniidi (pinnale galvaniseeritud teemantosakesed) juhib juhtrataste süsteem kiireks ringluseks (niidi kiirus 10–30 m/s).

3. Lõike etteanne: valuplokki söödetakse etteantud suunas ja teemantjoon lõigatakse samaaegselt mitme paralleelse joonega (100–500 joont), moodustades mitu vahvlit.

4. Jahutamine ja laastude eemaldamine: Pihustage lõikepiirkonda jahutusvedelikku (deioniseeritud vesi + lisandid), et vähendada kuumakahjustusi ja eemaldada laastud.

Peamised parameetrid:

1. Lõikekiirus: 0,2–1,0 mm/min (sõltuvalt SiC kristalli suunast ja paksusest).

2. Lõikepinge: 20–50 N (liiga kõrge pinge muudab lõhkenööri kergesti katkevaks, liiga madal mõjutab lõiketäpsust).

3. Vahvli paksus: standard 350–500 μm, vahvli paksus võib ulatuda 100 μm-ni.

Peamised omadused:

(1) Lõiketäpsus
Paksuse tolerants: ±5 μm (@350 μm vahvel), parem kui tavapärasel mördilõikusel (±20 μm).

Pinna karedus: Ra <0,5 μm (täiendavat lihvimist pole vaja, et vähendada järgneva töötlemise hulka).

Deformatsioon: <10 μm (vähendab järgneva poleerimise raskust).

(2) Töötlemise efektiivsus
Mitmerealine lõikamine: 100–500 tüki korraga lõikamine, mis suurendab tootmisvõimsust 3–5 korda (võrreldes üherealise lõikamisega).

Liini eluiga: Teemantliin suudab lõigata 100–300 km ränikarbiidi (sõltuvalt valuploki kõvadusest ja protsessi optimeerimisest).

(3) Madala kahjustusega töötlemine
Serva purunemine: <15μm (traditsiooniline lõikamine> 50μm), parandab vahvli saagikust.

Aluspinna kahjustuskiht: <5 μm (vähendab poleerimise eemaldamist).

(4) Keskkonnakaitse ja majandus
Mördi saastumine puudub: Jäätmevedeliku kõrvaldamise kulud on väiksemad võrreldes mördi lõikamisega.

Materjalikasutus: Lõikekadu <100μm/lõikur, säästes ränikarbiidi (SiC) toorainet.

Lõikeefekt:

1. Vahvli kvaliteet: pinnal puuduvad makroskoopilised praod, vähe mikroskoopilisi defekte (dislokatsiooni pikenemine on kontrollitav). Saab otse siseneda jämeda poleerimise lüli, lühendades protsessivoogu.

2. Järjepidevus: vahvli paksuse hälve partiis on <±3%, sobib automatiseeritud tootmiseks.

3. Rakendatavus: Toetab 4H/6H-SiC valuplokkide lõikamist, ühildub juhtiva/poolisoleeritud tüübiga.

Tehniline kirjeldus:

Spetsifikatsioon	Detailid
Mõõtmed (P × L × K)	2500x2300x2500 või kohanda
Töödeldava materjali suuruste vahemik	4, 6, 8, 10, 12 tolli ränikarbiidi
Pinna karedus	Ra≤0,3u
Keskmine lõikekiirus	0,3 mm/min
Kaal	5,5 tonni
Lõikamisprotsessi seadistamise sammud	≤30 sammu
Seadmete müra	≤80 dB
Terastraadi pinge	0~110N (0,25 traadi pinge on 45N)
Terastraadi kiirus	0–30 m/s
Koguvõimsus	50 kW
Teemanttraadi läbimõõt	≥0,18 mm
Lõpptasasus	≤0,05 mm
Lõike- ja purunemiskiirus	≤1% (välja arvatud inimlikel põhjustel, ränimaterjalil, liinil, hooldusel ja muudel põhjustel)

XKH teenused:

XKH pakub ränikarbiidist teemanttraadist lõikemasina täielikku protsessiteenust, sealhulgas seadmete valikut (traadi läbimõõdu/kiiruse sobitamine), protsessi väljatöötamist (lõikeparameetrite optimeerimine), kulumaterjalide tarnimist (teemanttraat, juhtratas) ja müügijärgset tuge (seadmete hooldus, lõikekvaliteedi analüüs), et aidata klientidel saavutada kõrge saagis (>95%), soodne ränikarbiidist vahvlite masstootmine. Samuti pakub see kohandatud uuendusi (näiteks üliõhukese lõikamine, automaatne laadimine ja mahalaadimine) 4–8-nädalase tarneajaga.