Ränikarbiidi teemanttraadi lõikamismasin 4/6/8/12 tolline SiC valuploki töötlemine

Lühikirjeldus:

Ränikarbiidist teemanttraadi lõikamismasin on ränikarbiidi (SiC) valuploki viilude töötlemiseks mõeldud ülitäpne töötlusseade, mis kasutab teemanttraatsae tehnoloogiat läbi suure kiirusega liikuva teemanttraadi (liini läbimõõt 0,1–0,3 mm) kuni ränikarbiidi valuploki mitme traadi lõikamiseni, et saavutada kõrge täpsus ja madal ettevalmistus. Seadmeid kasutatakse laialdaselt ränikarbiidi võimsuspooljuhtide (MOSFET/SBD), raadiosagedusseadmete (GaN-on-SiC) ja optoelektrooniliste seadmete substraadi töötlemisel, see on ränikarbiidi tööstusahela võtmeseade.

Saada meile e-kiri

Toote üksikasjad

Tootesildid

Tööpõhimõte:

1. Valuploki fikseerimine: SiC valuplokk (4H/6H-SiC) kinnitatakse lõikeplatvormile läbi kinnituse, et tagada asendi täpsus (±0,02 mm).

2. Teemantjoone liikumine: teemantjoont (pinnal galvaniseeritud teemandiosakesed) juhib juhtratta süsteem kiireks ringluseks (liini kiirus 10 ~ 30 m/s).

3. Lõikamise etteanne: valuplokk söödetakse etteantud suunas ja teemantjoon lõigatakse samaaegselt mitme paralleelse joonega (100–500 rida), et moodustada mitu vahvlit.

4. Jahutus ja laastude eemaldamine: Pihustage lõikealale jahutusvedelikku (deioniseeritud vesi + lisandid), et vähendada kuumakahjustusi ja eemaldada laastud.

Peamised parameetrid:

1. Lõikekiirus: 0,2 ~ 1,0 mm/min (sõltub kristallide suunast ja SiC paksusest).

2. Joone pinge: 20 ~ 50N (liiga kõrge, kergesti purunev, liiga madal mõjutab lõiketäpsust).

3. Vahvli paksus: standardne 350 ~ 500 μm, vahvel võib ulatuda 100 μm-ni.

Peamised omadused:

(1) Lõiketäpsus
Paksuse tolerants: ±5 μm (@350 μm vahvel), parem kui tavaline mördi lõikamine (± 20 μm).

Pinna karedus: Ra<0,5μm (ei ole vaja täiendavat lihvimist, et vähendada järgnevat töötlemist).

Väändumine: <10 μm (vähendage järgneva poleerimise raskusi).

(2) Töötlemise efektiivsus
Mitmerealine lõikamine: lõikamine 100-500 tükki korraga, tootmisvõimsuse suurendamine 3-5 korda (vs üheliiniline lõikamine).

Joone eluiga: Teemantliin suudab lõigata 100–300 km SiC (olenevalt valuploki kõvadusest ja protsessi optimeerimisest).

(3) Vähene kahjustuste töötlemine
Serva purunemine: <15μm (traditsiooniline lõikamine >50μm), parandab vahvli saagist.

Aluspinna kahjustuskiht: <5μm (vähenda poleerimise eemaldamist).

(4) Keskkonnakaitse ja majandus
Mördi saastumine puudub: väiksemad jäätmevedeliku kõrvaldamise kulud võrreldes mördi lõikamisega.

Materjali kasutamine: lõikekadu <100 μm lõikuri kohta, säästes SiC toorainet.

Lõikamise efekt:

1. Vahvli kvaliteet: pinnal puuduvad makroskoopilised praod, vähe mikroskoopilisi defekte (juhitav dislokatsioonipikendus). Saab otse siseneda töötlemata poleerimislüli, lühendada protsessi voolu.

2. Konsistents: vahvli paksuse hälve partiis on <±3%, sobib automatiseeritud tootmiseks.

3. Kohaldatavus: toetab 4H/6H-SiC valuploki lõikamist, ühildub juhtiva/poolisoleeritud tüübiga.

Tehniline spetsifikatsioon:

Spetsifikatsioon	Üksikasjad
Mõõtmed (P × L × K)	2500x2300x2500 või kohandada
Töötlemismaterjali suuruse vahemik	4, 6, 8, 10, 12 tolli ränikarbiidist
Pinna karedus	Ra≤0,3u
Keskmine lõikekiirus	0,3 mm/min
Kaal	5,5t
Lõikamisprotsessi seadistamise etapid	≤30 sammu
Seadmete müra	≤80 dB
Terastraadi pinge	0–110 N (0,25 traadi pinge on 45 N)
Terastraadi kiirus	0-30 m/S
Koguvõimsus	50kw
Teemanttraadi läbimõõt	≥0,18 mm
Lõpp tasane	≤0,05 mm
Lõike- ja murdumiskiirus	≤1% (välja arvatud inimlikel põhjustel, ränimaterjalil, liinil, hooldusel ja muudel põhjustel)

XKH teenused:

XKH pakub ränikarbiidist teemanttraadi lõikamismasina kogu protsessiteenust, sealhulgas seadmete valikut (traadi läbimõõdu / traadi kiiruse sobitamine), protsessi arendust (lõikeparameetrite optimeerimine), kulumaterjalide tarnimist (teemanttraat, juhtratas) ja müügijärgset tuge (seadmete hooldus, lõikekvaliteedi analüüs), et aidata klientidel saavutada kõrge tootlikkus (> 95%), odav SiC vahvli masstootmine. Samuti pakub see kohandatud uuendusi (nt üliõhuke lõikamine, automaatne peale- ja mahalaadimine) 4–8-nädalase teostusajaga.