Räni karbiidi keraamiline salv imiku räni karboon -karbiidi keraamiline toru tarnib kõrge temperatuuriga paagutamine kohandatud töötlemine

Räni karbiidi keraamilise salv imiku räni karboonkarbiidi keraamiline toru varustus kõrge temperatuur

Lühike kirjeldus:

Räni karbiidi keraamilised salve ja räni karbiidi keraamilised torud on pooljuhtide tootmisel hädavajalikud suure jõudlusega materjalid. Räni karbiidi keraamilist alust kasutatakse peamiselt fikseeritud ja laagri töötlemisel, et tagada ülitäpse protsessi stabiilsus; Räni karbiidi keraamilisi torusid kasutatakse laialdaselt kõrge temperatuuriga ahjude torudes, difusiooniahju torudes ja muudes stsenaariumides, et taluda ekstreemset keskkonda ja säilitada tõhusat termilist majandamist. Mõlemad põhinevad räni karbiidil kui põhimaterjal, mis on oma suurepäraste füüsikaliste ja keemiliste omaduste tõttu muutunud pooljuhtide tööstuses põhikomponendiks.

Saada meile e -kiri

Toote detail

Tootesildid

Peamised omadused:

1. räni karbiidi keraamikasalv
- Kõrge kõvadus ja kulumiskindlus: kõvadus on teemandi lähedal ja ta peab pikka aega vastu vahvli töötlemisel mehaanilist kulumist.
- kõrge soojusjuhtivus ja madal soojuspaisumistegur: kiire kuumuse hajumine ja mõõtmete stabiilsus, vältides soojuspinge põhjustatud deformatsiooni.
- Kõrge lamedus ja pinna viimistlus: pinna tasasus on mikronite tasemeni, tagades vahvli ja ketta vahelise täieliku kontakti, vähendades saastumist ja kahjustusi.
Keemiline stabiilsus: tugev korrosioonikindlus, mis sobib pooljuhtide tootmisel niiske puhastamiseks ja söövitusprotsessideks.
2. räni karbiidi keraamikatoru
- Kõrge temperatuuri takistus: see võib töötada kõrge temperatuuriga keskkonnas üle 1600 ° C pikka aega, mis sobib pooljuhtide kõrge temperatuuriga.
Suurepärane korrosioonikindlus: vastupidav hapete, leeliste ja mitmesuguste keemiliste lahustite suhtes, mis sobib karmideks protsessikeskkondadeks.
- Kõrge kõvadus ja kulumiskindlus: takistage osakeste erosioonile ja mehaanilisele kulumisele, pikendage kasutusaega.
- Kõrge soojusjuhtivus ja madal soojuspaisumistegur: soojuse ja mõõtmete stabiilsuse kiire juhtimine, soojuspinge põhjustatud deformatsiooni või pragunemise vähendamine.

Toote parameeter ：

Räni karbiidi keraamilise salve parameeter:

(Materiaalne omadus)		(Ühik)	(SSIC)
(Sic sisu)		(WT)%	> 99
(Keskmine tera suurus)		mikron	4-10
(Tihedus)		kg/dm3	> 3.14
(Ilmne poorsus)		VO1%	<0,5
(Vickersi kõvadus)	HV 0,5	GPA	28
() Paindlik tugevus (kolm punkti)	20ºC	Mpa	450
(Survetugevus)	20ºC	Mpa	3900
(Elastne moodul)	20ºC	GPA	420
(Luumurdude sitkus)		MPA/M '%	3.5
(Soojusjuhtivus)	20 ° ºC	W/(m*k)	160
(Takistus)	20 ° ºC	OHM.CM	106-108
(Soojuspaisumistegur)	A (rt ** ... 80ºC)	K-1*10-6	4.3
(Maksimaalne töötemperatuur)		oºC	1700

Räni karbiidi keraamiline toru parameeter:

Esemed	Indeks
α-sic	99% min
Näiv poorsus	16% max
Hulgi tihedus	2,7 g/cm3 min
Painutamine kõrgel temperatuuril	100 MPa min
Soojuspaisumise koefitsient	K -1 4,7x10 -6
Soojusjuhtivuse koefitsient (1400 ° C)	24 w/mk
Max. Töötemperatuur	1650ºC

Peamised rakendused:

1. räni karbiidi keraamiline plaat
- Vahvli lõikamine ja poleerimine: toimib kandeplatvormina, et tagada lõikamise ja poleerimise ajal suur täpsus ja stabiilsus.
- Litograafiaprotsess: vahvel fikseeritakse litograafiamasinas, et tagada kokkupuute ajal ülitäpse positsioneerimine.
- Keemiline mehaaniline poleerimine (CMP): toimib tugiplatvormina padjade poleerimiseks, pakkudes ühtlast rõhu ja soojuse jaotust.
2. räni karbiidi keraamikatoru
- Kõrge temperatuuriga ahjutoru: kasutatakse kõrge temperatuuriga seadmetes, näiteks difusiooniahju ja oksüdatsiooniahju, et vedada vahvleid kõrge temperatuuriga töötlemiseks.
- CVD/PVD protsess: reaktsiooni kambris asuva laagritoruna, mis on resistentne kõrge temperatuuri ja söövitava gaasi suhtes.
- Pooljuhtide seadmete lisaseadmed: soojusvahetite, gaasitorude jms jaoks, et parandada varustuse soojusjuhtimise tõhusust.
XKH pakub täielikku valikut kohandatud teenuseid räni karbiidi keraamiliste salvede, imemistasside ja räni karbiidi keraamiliste torude jaoks. Ränikarbiidi keraamilised alused ja iminaitsid, XKH -d saab kohandada vastavalt erineva suuruse, kuju ja pinna karedusega klientide nõuetele ning toetada spetsiaalset katte töötlemist, suurendab kulumiskindlust ja korrosioonikindlust; Räni karbiidi keraamiliste torude puhul saab XKH kohandada mitmesuguseid sisemise läbimõõtu, välimise läbimõõtu, pikkust ja keerulist struktuuri (näiteks kujuline toru või poorne toru) ning pakkuda poleerimist, anti-oksüdatsiooni katteid ja muid pinna töötlemisprotsesse. XKH tagab, et kliendid saaksid täielikult ära kasutada räni karbiidi keraamikatoodete jõudluse eeliseid, et täita tipptasemel tootmisvaldkondade, näiteks pooljuhtide, LED-ide ja fotogalvaanide nõudlikke nõudeid.