Ränikarbiidist keraamiline kandiku imeja Ränikarbiidist keraamiline toru varustab kõrgel temperatuuril paagutamist kohandatud töötlemisega

Lühike kirjeldus:

Ränikarbiidist keraamiline alus ja ränikarbiidist keraamilised torud on pooljuhtide tootmises hädavajalikud kõrgjõudlusega materjalid. Ränikarbiidist keraamilist alust kasutatakse peamiselt kiipide töötlemisel fikseeritud ja laagrite jaoks, et tagada ülitäpse protsessi stabiilsus; ränikarbiidist keraamilisi torusid kasutatakse laialdaselt kõrge temperatuuriga ahjutorudes, difusioonahjutorudes ja muudes stsenaariumides, et taluda äärmuslikke keskkondi ja säilitada tõhus soojusjuhtimine. Mõlemad põhinevad ränikarbiidil kui südamikmaterjalil, mis on oma suurepäraste füüsikaliste ja keemiliste omaduste tõttu pooljuhtide tööstuses võtmekomponendiks saanud.

Saada meile e-kiri

Toote üksikasjad

Tootesildid

Peamised omadused:

1. Ränikarbiidist keraamiline alus
- Kõrge kõvadus ja kulumiskindlus: kõvadus on teemandile lähedane ja talub pikka aega mehaanilist kulumist vahvlite töötlemisel.
- Kõrge soojusjuhtivus ja madal soojuspaisumistegur: kiire soojuse hajumine ja mõõtmete stabiilsus, vältides termilisest pingest tingitud deformatsiooni.
- Kõrge tasasus ja pinnaviimistlus: pinna tasasus on kuni mikroni tasemeni, tagades vahvli ja ketta täieliku kontakti, vähendades saastumist ja kahjustusi.
Keemiline stabiilsus: Tugev korrosioonikindlus, sobib märgpuhastuseks ja söövitusprotsessideks pooljuhtide tootmises.
2. Ränikarbiidist keraamiline toru
- Kõrge temperatuuritaluvus: see võib pikka aega töötada kõrgel temperatuuril üle 1600 °C, sobib pooljuhtide kõrge temperatuuriga protsessideks.
Suurepärane korrosioonikindlus: vastupidav hapetele, leelistele ja mitmesugustele keemilistele lahustitele, sobib karmidesse protsessikeskkondadesse.
- Suur kõvadus ja kulumiskindlus: talub osakeste erosiooni ja mehaanilist kulumist, pikendab kasutusiga.
- Kõrge soojusjuhtivus ja madal soojuspaisumistegur: kiire soojusjuhtivus ja mõõtmete stabiilsus, vähendades termilisest pingest tingitud deformatsiooni või pragunemist.

Toote parameeter:

Ränikarbiidist keraamilise aluse parameeter:

(Materiaalne vara)		(Ühik)	(ssic)
(SiC sisaldus)		(Kaaluprotsent)	>99
(Keskmine tera suurus)		mikron	4-10
(Tihedus)		kg/dm3	>3.14
(Näiv poorsus)		Vo1%	<0,5
(Vickersi kõvadus)	HV 0,5	GPa	28
() Paindetugevus (kolm punkti)	20ºC	MPa	450
(Survetugevus)	20ºC	MPa	3900
(Elastsusmoodul)	20ºC	GPa	420
(Murdumiskindlus)		MPa/m'%	3.5
(Soojusjuhtivus)	20°C	W/(m²K)	160
(Takistus)	20°C	Ohm.cm	106-108
(Soojuspaisumistegur)	a(RT**...80ºC)	K-1*10-6	4.3
(Maksimaalne töötemperatuur)		°C	1700

Ränikarbiidist keraamilise toru parameeter:

Esemed	Indeks
α-SIC	99% miinimum
Nähtav poorsus	Maksimaalselt 16%
Mahutihedus	2,7 g/cm3 min
Paindetugevus kõrgel temperatuuril	100 MPa minutis
Soojuspaisumise koefitsient	K-1 4,7x10-6
Soojusjuhtivuse koefitsient (1400ºC)	24 W/mk
Maksimaalne töötemperatuur	1650ºC

Peamised rakendused:

1. Ränikarbiidist keraamiline plaat
- Vahvli lõikamine ja poleerimine: toimib tugiplatvormina, et tagada lõikamise ja poleerimise ajal suur täpsus ja stabiilsus.
- Litograafiaprotsess: vahvel fikseeritakse litograafiamasinas, et tagada särituse ajal täpne positsioneerimine.
- Keemiline-mehaaniline poleerimine (CMP): toimib poleerimispatjade tugiplatvormina, tagades ühtlase rõhu ja soojuse jaotumise.
2. Ränikarbiidist keraamiline toru
- Kõrgtemperatuuriline ahjutoru: kasutatakse kõrgtemperatuuriliste seadmete, näiteks difusioonahjude ja oksüdatsiooniahjude jaoks vahvlite kandmiseks kõrgtemperatuuril toimuva töötlemise jaoks.
- CVD/PVD protsess: laagritoruna reaktsioonikambris, vastupidav kõrgetele temperatuuridele ja söövitavatele gaasidele.
- Pooljuhtseadmete lisatarvikud: soojusvahetite, gaasitorustike jms jaoks seadmete soojushalduse efektiivsuse parandamiseks.
XKH pakub laia valikut ränikarbiidist keraamiliste aluste, iminappade ja ränikarbiidist keraamiliste torude eritellimusteenuseid. Ränikarbiidist keraamilisi aluseid ja iminappe saab XKH-s kohandada vastavalt kliendi erinevatele suurustele, kujudele ja pinnakaredusele ning need toetavad spetsiaalset katet, parandavad kulumiskindlust ja korrosioonikindlust. Ränikarbiidist keraamiliste torude puhul saab XKH kohandada mitmesuguseid sisediameetreid, välisdiameetreid, pikkusi ja keerukaid struktuure (näiteks vormitud toru või poorne toru) ning pakub poleerimist, antioksüdatsioonikatet ja muid pinnatöötlusprotsesse. XKH tagab, et kliendid saavad ränikarbiidist keraamiliste toodete jõudluse eeliseid täiel määral ära kasutada, et rahuldada tipptasemel tootmisvaldkondade, näiteks pooljuhtide, LED-ide ja fotogalvaanika, nõudlikke nõudeid.