Ränikarbiidist konsoollaba (SiC konsoollaba)

Lühike kirjeldus:

Saada meile e-kiri

Omadused

Detailne diagramm

Toote ülevaade

Ränikarbiidist konsoollaba, mis on valmistatud kõrgjõudlusega reaktsiooni teel liimitud ränikarbiidist (RBSiC), on pooljuhtide ja fotogalvaaniliste rakenduste kiipide laadimis- ja käsitsemissüsteemides kasutatav kriitiline komponent.
Võrreldes traditsiooniliste kvartsist või grafiidist labadega pakuvad SiC konsoollabad paremat mehaanilist tugevust, suurt kõvadust, väikest soojuspaisumist ja silmapaistvat korrosioonikindlust. Need säilitavad suurepärase struktuurilise stabiilsuse kõrgetel temperatuuridel, vastates suurte kiipide suuruste, pika kasutusea ja ülimadala saastumise rangetele nõuetele.

Pooljuhtprotsesside pideva arenguga suuremate vahvlite läbimõõtude, suurema läbilaskevõime ja puhtama töötlemiskeskkonna suunas on SiC konsoollabad järk-järgult asendanud tavapärased materjalid, saades eelistatud valikuks difusioonahjude, LPCVD ja nendega seotud kõrgtemperatuuriliste seadmete jaoks.

Toote omadused

Suurepärane kõrge temperatuuri stabiilsus
- Töötab usaldusväärselt temperatuuril 1000–1300 ℃ ilma deformatsioonita.
- Maksimaalne töötemperatuur kuni 1380 ℃.
Suur kandevõime
- Paindetugevus kuni 250–280 MPa, mis on palju suurem kui kvartslabadel.
- Suudab käsitseda suure läbimõõduga vahvleid (300 mm ja rohkem).
Pikem kasutusiga ja vähene hooldus
- Madal soojuspaisumistegur (4,5 × 10⁻⁶ K⁻¹), sobib hästi LPCVD kattematerjalidega.
- Vähendab pingest tingitud pragusid ja koorumist, pikendades oluliselt puhastus- ja hooldustsükleid.
Korrosioonikindlus ja puhtus
- Suurepärane vastupidavus hapetele ja leelistele.
- Tihe mikrostruktuur avatud poorsusega <0,1%, mis minimeerib osakeste teket ja lisandite eraldumist.
Automaatikaga ühilduv disain
- Stabiilne ristlõike geomeetria suure mõõtmete täpsusega.
- Integreerub sujuvalt robotiseeritud kiipide laadimise ja mahalaadimise süsteemidega, võimaldades täielikult automatiseeritud tootmist.

Füüsikalised ja keemilised omadused

Ese	Ühik	Andmed
Maksimaalne töötemperatuur	℃	1380. aasta
Tihedus	g/cm³	3.04–3.08
Avatud poorsus	%	< 0,1
Paindetugevus	MPa	250 (20 ℃), 280 (1200 ℃)
Elastsusmoodul	GPa	330 (20 ℃), 300 (1200 ℃)
Soojusjuhtivus	W/m·K	45 (1200 ℃)
Soojuspaisumistegur	K⁻¹×10⁻⁶	4.5
Vickersi kõvadus	HV2	≥ 2100
Happe-/leelisekindlus	-	Suurepärane

Standardpikkused:2378 mm, 2550 mm, 2660 mm
Erimõõdud on saadaval soovi korral

Rakendused

Pooljuhtide tööstus
- LPCVD (madalrõhu keemiline aurustamine)
- Difusiooniprotsessid (fosfor, boor jne)
- Termiline oksüdeerimine
Fotogalvaanika tööstus
- Polükristallilise ja monokristallilise vahvli difusioon ja katmine
- Kõrgel temperatuuril lõõmutamine ja passiveerimine
Muud väljad
- Kõrge temperatuuriga söövitav keskkond
- Täppis-kiipide käitlemise süsteemid, mis nõuavad pikka kasutusiga ja väikest saastumist

Kliendi eelised

Väiksemad tegevuskulud– Pikem eluiga võrreldes kvartslabadega, mis minimeerib seisakuid ja vahetussagedust.
Suurem saagikus– Äärmiselt madal saastumine tagab kiibi pinna puhtuse ja vähendab defektide esinemissagedust.
Tulevikukindel– Ühildub suurte kiipide suuruste ja järgmise põlvkonna pooljuhtprotsessidega.
Parem tootlikkus– Täielikult ühilduv robotiseeritud automatiseerimissüsteemidega, toetades suuremahulist tootmist.

KKK – ränikarbiidist konsoollaba

K1: Mis on ränikarbiidist konsoollaba?
A: See on reaktsioonsidemega ränikarbiidist (RBSiC) valmistatud kiibi tugi- ja käsitsemiskomponent. Seda kasutatakse laialdaselt difusioonahjudes, LPCVD-s ja muudes kõrgtemperatuurilistes pooljuhtide ja fotogalvaanilistes protsessides.

K2: Miks valida kvartsist labade asemel SiC?
A: Võrreldes kvartslabadega pakuvad SiC-labad järgmist:

Suurem mehaaniline tugevus ja kandevõime
Parem termiline stabiilsus temperatuuridel kuni 1380 ℃
Palju pikem kasutusiga ja lühemad hooldustsüklid
Väiksem osakeste tekkimise ja saastumise oht
Ühilduvus suuremate kiipide suurustega (300 mm ja rohkem)

K3: Milliseid vahvli suurusi saab SiC konsoollaba toetada?
A: Standardlabad on saadaval 2378 mm, 2550 mm ja 2660 mm ahjusüsteemidele. Saadaval on ka kohandatud mõõtmed, mis toetavad kuni 300 mm ja suuremaid vahvleid.

Meist

XKH on spetsialiseerunud spetsiaalse optilise klaasi ja uute kristallmaterjalide kõrgtehnoloogilisele arendamisele, tootmisele ja müügile. Meie tooted on mõeldud optilisele elektroonikale, tarbeelektroonikale ja sõjaväele. Pakume safiiroptilisi komponente, mobiiltelefonide objektiivikatteid, keraamikat, LT-d, ränikarbiidist SIC-i, kvartsist ja pooljuhtkristallplaate. Tänu oskusteabele ja tipptasemel seadmetele oleme silmapaistvad mittestandardsete toodete töötlemisel, seades eesmärgiks olla juhtiv optoelektrooniliste materjalide kõrgtehnoloogiline ettevõte.