SiC keraamiline alusplaat grafiit CVD SiC kattega seadmetele

Ränikarbiidist keraamikat ei kasutata mitte ainult õhukese kile sadestamisetapis, nagu epitaksimine või MOCVD, või vahvlite töötlemisel, mille keskmes allutatakse MOCVD-vahvlikandurid esmalt sadestamiskeskkonnale ja on seetõttu väga vastupidavad kuumus ja korrosioon.SiC-kattega kandjatel on ka kõrge soojusjuhtivus ja suurepärased soojusjaotusomadused.

Pure Chemical Aur Deposition Silicon Carbide (CVD SiC) vahvlikandurid kõrgel temperatuuril metalli orgaanilise keemilise aursadestamise (MOCVD) töötlemiseks.

Puhtad CVD SiC vahvlikandjad on oluliselt paremad kui selles protsessis kasutatavad tavapärased vahvlikandjad, mis on grafiidist ja kaetud CVD SiC kihiga. need kaetud grafiidil põhinevad kandurid ei talu kõrgeid temperatuure (1100–1200 kraadi Celsiuse järgi), mida on vaja tänapäevase suure heledusega sinise ja valge LED-i GaN-sadestamise jaoks. Kõrgete temperatuuride tõttu tekivad kattes väikesed augud, mille kaudu protsessikemikaalid õõnestavad all olevat grafiiti. Seejärel grafiidiosakesed kihistuvad ja saastavad GaN-i, põhjustades kaetud vahvlikandja asendamise.

CVD SiC puhtusaste on 99,999% või rohkem ning sellel on kõrge soojusjuhtivus ja soojuslöögikindlus. Seetõttu talub see suure heledusega LED-tootmise kõrgeid temperatuure ja karmi keskkonda. See on tahke monoliitne materjal, mis saavutab teoreetilise tiheduse, tekitab minimaalselt osakesi ning millel on väga kõrge korrosiooni- ja erosioonikindlus. Materjal võib muuta läbipaistmatust ja juhtivust ilma metallilisi lisandeid lisamata. Vahvlikandurid on tavaliselt 17-tollise läbimõõduga ja mahutavad kuni 40 2–4-tollist vahvlit.