SiC-keraamiline kahvliharu/otsaefektor – täiustatud täppiskäitlus pooljuhtide tootmiseks

SiC-keraamiline kahvliharu / efektorots – täiustatud täppiskäitlus pooljuhtide tootmiseks. Esiletõstetud pilt

Lühike kirjeldus:

SiC-keraamiline kahvelvars, mida sageli nimetatakse ka keraamiliseks efektorotsaks, on suure jõudlusega täppiskäitluskomponent, mis on spetsiaalselt välja töötatud kiipide transportimiseks, joondamiseks ja positsioneerimiseks kõrgtehnoloogilistes tööstusharudes, eriti pooljuhtide ja fotogalvaanika tootmises. See komponent, mis on valmistatud kõrge puhtusastmega ränikarbiidkeraamikast, ühendab endas erakordse mehaanilise tugevuse, ülimadala soojuspaisumise ning suurepärase vastupidavuse termilisele löögile ja korrosioonile.

Saada meile e-kiri

Omadused

Detailne diagramm

Toote ülevaade

Erinevalt traditsioonilistest alumiiniumist, roostevabast terasest või isegi kvartsist valmistatud efektormehhanismidest pakuvad SiC-keraamilised efektormehhanismid võrratut jõudlust vaakumkambrites, puhasruumides ja karmides töötlemiskeskkondades, muutes need järgmise põlvkonna kiipide käitlemise robotite oluliseks osaks. Kasvava nõudlusega saastevaba tootmise ja kitsamate tolerantside järele kiibitootmises on keraamiliste efektormehhanismide kasutamine kiiresti muutumas tööstusstandardiks.

Tootmispõhimõte

ValmistamineSiC keraamilised efektormootoridhõlmab mitmeid ülitäpseid ja ülipuhtusastmega protsesse, mis tagavad nii jõudluse kui ka vastupidavuse. Tavaliselt kasutatakse kahte peamist protsessi:

Reaktsioonsidemega ränikarbiid (RB-SiC)

Selles protsessis imbub ränikarbiidipulbrist ja sideainest valmistatud toorik kõrgel temperatuuril (~1500 °C) sula räniga, mis reageerib jääksüsinikuga, moodustades tiheda ja jäiga SiC-Si komposiidi. See meetod pakub suurepärast mõõtmete kontrolli ja on kulutõhus suurtootmiseks.

Survevaba paagutatud ränikarbiid (SSiC)

SSiC-d valmistatakse ülipeene ja ülipuhta SiC-pulbri paagutamise teel äärmiselt kõrgetel temperatuuridel (>2000 °C) ilma lisandite või sideaineta. Selle tulemuseks on toode, mille tihedus on peaaegu 100% ja millel on SiC-materjalide seas parimad mehaanilised ja termilised omadused. See sobib ideaalselt ülikriitiliste kiipide käsitsemise rakenduste jaoks.

Järeltöötlus

Täppis-CNC-töötlusSaavutab kõrge tasapinna ja paralleelsuse.
Pinna viimistlusTeemantpoleerimine vähendab pinna karedust <0,02 µm-ni.
KontrollIga detaili kontrollimiseks kasutatakse optilist interferomeetriat, CMM-i ja mittepurustavat testimist.

Need sammud garanteerivad, etSiC-i efektortagab ühtlase kiipide paigutuse täpsuse, suurepärase tasapinna ja minimaalse osakeste tekkimise.

Peamised omadused ja eelised

Funktsioon	Kirjeldus
Ülikõrge kõvadus	Vickersi kõvadus > 2500 HV, kulumiskindel ja mõranemiskindel.
Madal soojuspaisumine	CTE ~4,5×10⁻⁶/K, mis võimaldab mõõtmete stabiilsust termilise tsükli ajal.
Keemiline inerts	Vastupidav HF-ile, HCl-ile, plasmagaasidele ja muudele söövitavatele ainetele.
Suurepärane termiline löögikindlus	Sobib kiireks kuumutamiseks/jahutamiseks vaakum- ja ahjusüsteemides.
Suur jäikus ja tugevus	Toetab pikki konsoolkahvliharusid ilma paindumata.
Madal gaaside eraldumine	Ideaalne ülikõrge vaakumi (UHV) keskkondadesse.
ISO 1. klassi puhasruumivalmis	Osakestevaba töö tagab vahvli terviklikkuse.

Rakendused

SiC-keraamilist kahvliharu/otsaefektorit kasutatakse laialdaselt tööstusharudes, mis nõuavad äärmist täpsust, puhtust ja keemilist vastupidavust. Peamised rakendusstsenaariumid on järgmised:

Pooljuhtide tootmine

Plokkide laadimine/mahavõtmine sadestamis- (CVD, PVD), söövitus- (RIE, DRIE) ja puhastussüsteemides.
Robotiline kiipide transport FOUP-ide, kassettide ja protsessivahendite vahel.
Kõrgel temperatuuril käitlemine termilise töötlemise või lõõmutamise ajal.

Fotogalvaaniliste elementide tootmine

Habraste räniplaatide või päikesepaneelide substraatide õrn transport automatiseeritud liinidel.

Lameekraanide (FPD) tööstus

Suurte klaaspaneelide või aluspindade teisaldamine OLED/LCD tootmiskeskkondades.

Ühendpooljuht / MEMS

Kasutatakse GaN-i, SiC-i ja MEMS-i tootmisliinidel, kus saastumise kontroll ja positsioneerimistäpsus on üliolulised.

Selle efektormehhanism on eriti oluline defektideta ja stabiilse käsitsemise tagamiseks tundlike toimingute ajal.

Kohandamisvõimalused

Pakume laia valikut kohandamisvõimalusi, et rahuldada erinevaid seadmete ja protsesside nõudeid:

Kahvli disainKaheharulised, mitme sõrmega või kahetasandilised paigutused.
Vahvli suuruse ühilduvus: 2–12-tollised vahvlid.
PaigaldusliidesedÜhildub OEM-robotkätega.
Paksuse ja pinna tolerantsidMikronitasemel tasasus ja servade ümardamine on saadaval.
Libisemisvastased omadusedValikulised pinnatekstuurid või katted kiipide kindla haarde tagamiseks.

Igakeraamiline otsaefektoron klientidega koostöös loodud, et tagada täpne sobivus minimaalsete tööriistavahetustega.

Korduma kippuvad küsimused (KKK)

K1: Mille poolest on ränikarbiid (SiC) kvartsist parem efektorrakenduses?
A1:Kuigi kvartsi kasutatakse tavaliselt selle puhtuse tõttu, puudub sellel mehaaniline vastupidavus ja see on koormuse või temperatuurišoki all purunemisele kalduv. SiC pakub suurepärast tugevust, kulumiskindlust ja termilist stabiilsust, vähendades oluliselt seisakuaja ja kiipide kahjustumise ohtu.

K2: Kas see keraamiline kahvel sobib kõigi robotkiipide käitlejatega?
A2:Jah, meie keraamilised efektormootorid ühilduvad enamiku peamiste kiipide käsitsemissüsteemidega ja neid saab täpsete tehniliste jooniste abil teie konkreetsetele robotimudelitele kohandada.

K3: Kas see saab hakkama 300 mm vahvlitega ilma moonutusteta?
A3:Absoluutselt. SiC suur jäikus võimaldab isegi õhukestel ja pikkadel kahvliharudel 300 mm vahvleid kindlalt hoida, ilma et need liikumise ajal longusid või painduksid.

K4: Milline on SiC-keraamilise efektorpea tüüpiline kasutusiga?
A4:Nõuetekohase kasutamise korral võib SiC-otsaefektor tänu suurepärasele vastupidavusele termilisele ja mehaanilisele pingele kesta 5–10 korda kauem kui traditsioonilised kvartsist või alumiiniumist mudelid.

K5: Kas pakute asendus- või kiire prototüüpimise teenuseid?
A5:Jah, me toetame kiiret näidiste tootmist ja pakume asendusteenuseid CAD-jooniste või olemasolevatest seadmetest pöördprojekteeritud osade põhjal.

Meist

XKH on spetsialiseerunud spetsiaalse optilise klaasi ja uute kristallmaterjalide kõrgtehnoloogilisele arendamisele, tootmisele ja müügile. Meie tooted on mõeldud optilisele elektroonikale, tarbeelektroonikale ja sõjaväele. Pakume safiiroptilisi komponente, mobiiltelefonide objektiivikatteid, keraamikat, LT-d, ränikarbiidist SIC-i, kvartsist ja pooljuhtkristallplaate. Tänu oskusteabele ja tipptasemel seadmetele oleme silmapaistvad mittestandardsete toodete töötlemisel, seades eesmärgiks olla juhtiv optoelektrooniliste materjalide kõrgtehnoloogiline ettevõte.