Safiirtoru safiirvardad, spetsiaalse kujuga kõrgsurve KY ja EFG
Kirjeldus
Safiirvardaid kasutatakse väga erinevates rakendustes. Safiirvardaid saab valmistada nii, et kõik pinnad on poleeritud optiliste ja kulumiskindlate rakenduste jaoks või peeneks lihvitud (poleerimata) pinnad isolaatorina kasutamiseks.
Tehnoloogia
Safiirtorude sulamist seemne abil väljatõmbamise käigus hoitakse pikisuunalist temperatuurigradienti tahkestunud rinde ja tõmbepiirkonna vahelises tsoonis, kus temperatuur on vahemikus 1850–1900 °C, mitte üle 30 °C/cm. Nii kasvatatud toru kuumutatakse temperatuuril 1950–2000 °C, tõstes temperatuuri kiirusega 30–40 °C/min ja hoides toru nimetatud temperatuuril 3–4 tundi. Seejärel jahutatakse toru toatemperatuurini kiirusega 30–40 °C/min.
Pooljuhtide töötlemise rakendused:
(HPD CVD, PECVD, kuivsöövitus, märgsöövitus)
Plasma aplikaatori toru
Protsessigaasi injektori düüsid
Lõpp-punkti detektor
Eksimersed koroonatorud
Plasma mahutitorud
Plasmatorude sulgemismasin on seade, mida kasutatakse elektrooniliste komponentide kapseldamiseks. Selle põhimõte on kasutada plasma kõrget temperatuuri ja rõhku pakkematerjali sulatamiseks ja selle komponendile kapseldamiseks. Plasmatorude sulgemismasina peamised komponendid on plasmageneraator, torude sulgemiskamber, vaakumsüsteem, juhtimissüsteem jne.
Termopaari kaitsekest (Thermowell): Termopaar on temperatuuri mõõtmise instrumentides tavaliselt kasutatav temperatuuri mõõtmise element. See mõõdab temperatuuri otse ja teisendab temperatuurisignaali termoelektriliseks elektromotoorjõu signaaliks, mis seejärel elektriinstrumendi (teisene instrument) kaudu mõõdetava keskkonna temperatuuriks muutub.
Veetöötlus/puhastus
Safiirtorude omadused (teoreetilised)
| Ühendi valem | Al₂O₃ |
| Molekulaarmass | 101.96 |
| Välimus | Läbipaistvad torud |
| Sulamistemperatuur | 2050 °C (3720 °F) |
| Keemistemperatuur | 2977 °C (5391 °F) |
| Tihedus | 4,0 g/cm3 |
| Morfoloogia | Trigonaalne (heksagonaalne), R3c |
| Lahustuvus H2O-s | 98 × 10⁻⁶ g/100 g |
| Murdumisnäitaja | 1.8 |
| Elektriline takistus | 17 10x Ω-m |
| Poissoni suhtarv | 0,28 |
| Spetsiifiline soojus | 760 J Kg-1 K-1 (293K) |
| Tõmbetugevus | 1390 MPa (piirrõhk) |
| Soojusjuhtivus | 30 W/mK |
| Soojuspaisumine | 5,3 µm/mK |
| Youngi moodul | 450 GPa |
| Täpne mass | 101,948 g/mol |
| Monoisotoopne mass | 101,94782 Da |
Detailne diagramm
