Kvartsklaasist vahvel JGS1 JGS2 BF33 vahvel 8-tolline 12-tolline 725 ± 25 um või kohandatud
Spetsifikatsioon
Spec | 4" | 6" | 8" | 10" | 12" |
Läbimõõt | 100 mm | 150 mm | 200 mm | 250 mm | 300 mm |
Paksus | 0,10 mm | 0,30 mm | 0,40 mm | 0,50 mm | 0,50 mm |
Esmane korter | 32,5 mm | 47,5 mm / 57,5 mm / Sälk | Sälk | Sälk | Sälk |
LTV (5 mm x 5 mm) | < 0,5 um | < 0,5 um | < 0,5 um | < 0,5 um | < 0,5 um |
TTV | < 2um | < 3um | <3um | <10 um | <10 um |
Vibu | ±20 um | ±30 um | ±40 um | ±40 um | ±40 um |
lõime | ≤ 30 um | ≤ 40 um | ≤ 70 um | ≤ 80 um | ≤ 80 um |
Serva ümardamine | Vastab standardile SEMI M1.2/vt IEC62276 | ||||
Pinna tüüp | Ühelt poolt poleeritud / kahepoolselt poleeritud | ||||
Poleeritud pool Ra | Ra ≤ 1 nm | ||||
Tagakülje kriteeriumid | Ra 0,2-0,7um või kohandatud |
Quartz Glass Wafer JGS1 JGS2 BF33 Wafer parameetrite tabel
Rakendus
JGS1, JGS2 ja BF33 kvartsklaasist vahvleid kasutatakse laialdaselt erinevates ülitäpsetes tööstusharudes. Need vahvlid sobivad ideaalselt pooljuhtide, sealhulgas fotomaski substraatide ja vahvlitasandi optika tootmiseks. Need sobivad ka optiliste komponentide, laserite ja andurite jaoks sellistes tööstusharudes nagu telekommunikatsioon, lennundus ja meditsiiniseadmed. Nende kõrge termiline stabiilsus ja vastupidavus termilisele šokile muudavad need ideaalseks äärmuslike temperatuuridega keskkondades, samas kui nende erakordne läbilaskvus on ülioluline ultraviolett- (UV) ja infrapuna (IR) optika jaoks.
Omadused
Materjali tüübid:
JGS1: kõrge UV-läbilaskvus, suurepärane ultraviolettkiirguse rakendustes.
JGS2: tasakaalustatud läbilaskvus UV-, nähtava- ja infrapunakiirguse vahemikus, sobib üldiseks optikakasutuseks.
BF33: kõrge keemilise vastupidavuse ja termilise vastupidavusega borosilikaatklaas. Suuruse valikud:
Saadaval 8- ja 12-tolliste vahvlite standardsuuruses.
Kohandatud suurusi saab valmistada konkreetsete nõuete alusel. Paksus:
Standardpaksus on 725 ± 25 μm.
Erinevate tööstuslike vajaduste rahuldamiseks on saadaval kohandatav paksus.
Termilised omadused:
Suurepärane termiline stabiilsus, sobib kasutamiseks kõrge temperatuuriga keskkondades.
Kõrge vastupidavus termilisele šokile.
Keemiline vastupidavus:
Tugev vastupidavus hapete, leeliste ja enamiku kemikaalide korrosioonile, eriti BF33 puhul.
Optilised omadused:
JGS1 ja JGS2 vahvlid pakuvad kõrget optilist läbilaskvust ultraviolettkiirguse (UV), nähtava ja infrapuna (IR) vahemikus.
Ideaalne täppis-optiliste komponentide, fotoonika ja laserrakenduste jaoks.
Pinnakvaliteet:
Kõrge pinnatasasus ja siledus, mis tagab täpsuse pooljuhtide ja optiliste seadmete valmistamisel.
Need omadused muudavad JGS1, JGS2 ja BF33 vahvlid mitmekülgseks ja usaldusväärseks suure jõudlusega rakenduste jaoks erinevates tööstusharudes, nagu optika, elektroonika ja pooljuhid.
Üldiselt
JGS1, JGS2 ja BF33 kvartsklaasist vahvlid pakuvad erakordset jõudlust mitmesugustes nõudlikes rakendustes. Saadaval standardsuuruses 8-tollise ja 12-tollise paksusega 725 ± 25 μm, neid vahvleid saab ka kohandada vastavalt erinõuetele. JGS1 ja JGS2 tagavad kõrge optilise läbilaskvuse UV-, nähtava- ja infrapunakiirguse vahemikus, samas kui BF33 pakub suurepärast keemilist vastupidavust ja termilist stabiilsust. Suure pinnatasasuse ja sileduse tõttu sobivad need vahvlid ideaalselt täppistööstustele, nagu pooljuhid, optika ja fotoonika, tagades töökindluse ja vastupidavuse äärmuslikes keskkondades ja kriitilistes rakendustes.