Kvartsklaasist vahvel JGS1 JGS2 BF33 vahvel 8 tolli 12 tolli 725 ± 25 um või kohandatud
Spetsifikatsioon
Spetsifikatsioon | 4" | 6" | 8" | 10" | 12” |
Läbimõõt | 100 mm | 150 mm | 200 mm | 250 mm | 300 mm |
Paksus | 0,10 mm | 0,30 mm | 0,40 mm | 0,50 mm | 0,50 mm |
Peamine korter | 32,5 mm | 47,5 mm / 57,5 mm / Sälk | Sälk | Sälk | Sälk |
Laenu ja laenu suhe (5 mm x 5 mm) | <0,5 μm | <0,5 μm | <0,5 μm | <0,5 μm | <0,5 μm |
TTV | < 2 µm | < 3 µm | <3 µm | <10 µm | <10 µm |
Vibu | ±20 µm | ±30 µm | ±40 µm | ±40 µm | ±40 µm |
Lõime | ≤ 30 µm | ≤ 40 μm | ≤ 70 μm | ≤ 80 μm | ≤ 80 μm |
Servade ümardamine | Vastab standardile SEMI M1.2 / vt standardit IEC62276 | ||||
Pinna tüüp | Ühepoolne poleeritud / kahepoolne poleeritud | ||||
Poleeritud külg Ra | Ra≤1nm | ||||
Tagakülje kriteeriumid | Ra 0,2–0,7 μm või kohandatud |
Kvartsklaasist vahvel JGS1 JGS2 BF33 vahvli parameetrite tabel
Taotlus
JGS1, JGS2 ja BF33 materjalidest valmistatud kvartsklaasist vahvleid kasutatakse laialdaselt erinevates täppistööstusharudes. Need vahvlid sobivad ideaalselt pooljuhtide tootmiseks, sealhulgas fotomaski aluspindade ja vahvlitaseme optika jaoks. Need sobivad ka optiliste komponentide, laserite ja andurite jaoks sellistes tööstusharudes nagu telekommunikatsioon, lennundus ja meditsiiniseadmed. Nende kõrge termiline stabiilsus ja vastupidavus kuumalöögile muudavad need ideaalseks äärmuslike temperatuuride jaoks, samas kui nende erakordne läbilaskvus on ülioluline ultraviolett- (UV) ja infrapuna- (IR) optika jaoks.
Omadused
Materjalitüübid:
JGS1: Kõrge UV-läbilaskvus, suurepärane ultraviolettvalguse rakenduste jaoks.
JGS2: Tasakaalustatud läbilaskvus UV-, nähtava ja infrapunakiirguse vahemikus, sobib üldiseks optiliseks kasutamiseks.
BF33: Borosilikaatklaas, millel on kõrge keemilise vastupidavuse ja termilise vastupidavuse. Suuruse valikud:
Saadaval standardsuurustes 8- ja 12-tolliste vahvlitena.
Kohandatud suurusi saab toota vastavalt konkreetsetele nõuetele. Paksus:
Standardpaksus on 725 ± 25 μm.
Kohandatav paksus on saadaval erinevate tööstuslike vajaduste rahuldamiseks.
Termilised omadused:
Suurepärane termiline stabiilsus, sobib kasutamiseks kõrge temperatuuriga keskkondades.
Kõrge vastupidavus termilisele löögile.
Keemiline vastupidavus:
Tugev korrosioonikindlus hapete, leeliste ja enamiku kemikaalide, eriti BF33 puhul.
Optilised omadused:
JGS1 ja JGS2 vahvlid pakuvad suurt optilist läbilaskvust ultraviolett- (UV), nähtava ja infrapuna (IR) vahemikus.
Ideaalne täppisoptiliste komponentide, fotoonika ja laserrakenduste jaoks.
Pinna kvaliteet:
Kõrge pinna tasasus ja siledus, mis tagab pooljuhtide ja optiliste seadmete tootmise täpsuse.
Need omadused muudavad JGS1, JGS2 ja BF33 vahvlid mitmekülgseks ja töökindlaks suure jõudlusega rakenduste jaoks sellistes tööstusharudes nagu optika, elektroonika ja pooljuhid.
Kokkuvõttes
JGS1, JGS2 ja BF33 materjalidest valmistatud kvartsklaasist vahvlid pakuvad erakordset jõudlust mitmesugustes nõudlikes rakendustes. Saadaval standardsuurustes 8-tollised ja 12-tollised ning paksusega 725 ± 25 μm on need vahvlid kohandatavad ka vastavalt konkreetsetele nõuetele. JGS1 ja JGS2 pakuvad suurt optilist läbilaskvust UV-, nähtava ja IR-vahemikus, samas kui BF33 pakub suurepärast keemilist vastupidavust ja termilist stabiilsust. Tänu kõrgele pinna tasapinnale ja siledusele sobivad need vahvlid ideaalselt täppistööstustele, nagu pooljuhid, optika ja fotoonika, tagades töökindluse ja vastupidavuse äärmuslikes keskkondades ja kriitilistes rakendustes.
Detailne diagramm

