Premium safiir-tõstetihvtid Monokristall Al₂O₃ vahvli tõstetihvt
Tehnilised parameetrid
| Keemiline koostis | Al₂O₃ |
| Kõvadus | 9Mohsi skaala |
| Optiline olemus | Üheteljeline |
| Murdumisnäitaja | 1,762–1,770 |
| Kahekordne murdumine | 0,008–0,010 |
| Dispersioon | Madal, 0,018 |
| Läige | Klaaskeha |
| Pleokroism | Mõõdukas kuni tugev |
| Läbimõõt | 0,4–30 mm |
| Läbimõõdu tolerants | 0,004–0,05 mm |
| pikkus | 2–150 mm |
| pikkuse tolerants | 0,03–0,25 mm |
| Pinna kvaliteet | 40/20 |
| Pinna ümarus | 0,05 randi |
| Kohandatud kuju | mõlemad otsad lamedad, üks ots punane, mõlemad otsad punased, sadulapulgad ja erikujud |
Peamised omadused
1. Erakordne kõvadus ja kulumiskindlus: Mohsi kõvadusastmega 9, mis on teemandi järel teisel kohal, näitavad safiir-tõstetihvtid kulumisomadusi, mis ületavad oluliselt traditsioonilisi ränikarbiidi, alumiiniumoksiidkeraamika või metallisulamite alternatiive. See äärmine kõvadus tähendab oluliselt väiksemat osakeste teket ja hooldusvajadust, mille kasutusiga on võrreldavates rakendustes tavaliselt 3–5 korda pikem kui tavapärastel materjalidel.
2. Suurepärane vastupidavus kõrgele temperatuurile: Sapphire Lift Pins on konstrueeritud taluma pidevat tööd temperatuuridel üle 1000 °C ilma halvenemiseta, säilitades mõõtmete stabiilsuse ja mehaanilise tugevuse ka kõige nõudlikumates termilistes protsessides. See muudab need eriti väärtuslikuks kriitilistes rakendustes, nagu keemiline aurustamine (CVD), metallorgaaniline keemiline aurustamine (MOCVD) ja kõrgtemperatuurilised kuumutussüsteemid, kus soojuspaisumise ebakõla võib protsessi saagikust kahjustada.
3. Keemiline inerts: Ühekristalliline safiirstruktuur on märkimisväärselt vastupidav HF-happele, klooripõhistele kemikaalidele ja muudele agressiivsetele protsessigaasidele, mida tavaliselt pooljuhtide tootmisel esineb. See keemiline stabiilsus tagab ühtlase jõudluse plasmakeskkonnas ja hoiab ära pinnadefektide tekkimise, mis võivad põhjustada kiipide saastumist.
4. Madal osakeste saastumine: Need tõstetihvtid on valmistatud defektivabadest, kõrge puhtusastmega safiirkristallidest (tavaliselt >99,99%), mistõttu eraldub osakestest minimaalselt isegi pikaajalisel kasutamisel. Nende mittepoorne pinnastruktuur ja poleeritud viimistlus vastavad kõige rangematele puhasruumi nõuetele, aidates otseselt kaasa täiustatud sõlmede pooljuhtide tootmise protsesside paremale saagikusele.
Täppistöötlus: Kasutades täiustatud teemantlihvimise ja lasertöötluse tehnikaid, saab safiirplaatidest tõstetihvte toota mikronist väiksemate tolerantsidega ja pinnaviimistlusega alla 0,05 μm Ra. Järgmise põlvkonna tootmisseadmetes esinevate spetsiifiliste kiipide käsitsemisega seotud probleemide lahendamiseks saab välja töötada kohandatud geomeetriaid, sealhulgas koonilisi profiile, spetsiaalseid otsakonfiguratsioone ja integreeritud joondamisfunktsioone.
Peamised rakendused
1. Pooljuhtide tootmine: Safiirplaatide tõstetihvtid mängivad olulist rolli täiustatud kiipide töötlemissüsteemides, pakkudes usaldusväärset tuge ja täpset positsioneerimist fotolitograafia, söövituse, sadestamise ja kontrolliprotsesside ajal. Nende termiline ja keemiline stabiilsus muudab need eriti väärtuslikuks EUV litograafiaseadmetes ja täiustatud pakendamisrakendustes, kus nanomeetri skaalal mõõtmete stabiilsus on oluline.
2. LED-epitaksia (MOCVD): Galliumnitriidis (GaN) ja sellega seotud pooljuhtide epitaksiaalsetes kasvusüsteemides pakuvad safiirkinnitused stabiilset vahvli tuge temperatuuridel, mis sageli ületavad 1000 °C. Nende sobivad soojuspaisumisomadused safiiralustega minimeerivad vahvli painutamist ja libisemise teket epitaksiaalse kasvuprotsessi ajal.
3. Fotogalvaanika tööstus: Kõrgefektiivne päikesepatareide tootmine saab kasu safiiri ainulaadsetest omadustest kõrgel temperatuuril difusiooni, paagutamise ja õhukese kile sadestamise protsessides. Tihvtide kulumiskindlus on eriti väärtuslik masstootmiskeskkondades, kus komponentide pikaealisus mõjutab otseselt tootmiskulusid.
4. Täppisoptika ja elektroonika töötlemine: Lisaks pooljuhtide rakendustele kasutatakse safiir-tõstetahvleid õrnade optiliste komponentide, MEMS-seadmete ja spetsiaalsete aluspindade käsitsemisel, kus saastumisevaba töötlemine ja kriimustuste vältimine on kriitilise tähtsusega. Nende elektriisolatsiooniomadused muudavad need ideaalseks rakendusteks, mis hõlmavad elektrostaatiliselt tundlikke seadmeid.
XKH teenused safiirplaatidest tõstetihvtide jaoks
XKH pakub Sapphire Lift Pinsile igakülgset tehnilist tuge ja kohandatud lahendusi:
1. Kohandatud arendusteenused
· Toetus mõõtmete, geomeetria ja pinnatöötluse kohandamiseks
· Materjali valik ja tehniliste parameetrite optimeerimise soovitused
· Koostöös tootekujundus ja simulatsioonipõhine kontrollimine
2. Täppistootmisvõimalused
· Ülitäpne töötlemine tolerantsidega, mis on kontrollitud ±1 μm täpsusega
· Spetsiaalsed töötlusviisid, sh peegli poleerimine ja servade kaldlõikus
· Valikulised pinna modifitseerimise lahendused, näiteks kleepumisvastased katted
3. Kvaliteedi tagamise süsteem
· Sissetuleva materjali kontrolli ja protsessikontrolli range rakendamine
· Täismõõtmeline optiline kontroll ja pinna morfoloogia analüüs
· Toote toimivuskatsete aruannete esitamine
4. Tarneahela teenused
· Standardtoodete kiire tarnimine
· Spetsiaalne varude haldamine võtmeklientidele
5. Tehniline tugi
· Rakenduslahenduste konsultatsioon
· Kiire müügijärgne reageerimine
Oleme pühendunud kvaliteetsete Sapphire Lift Pins toodete ja professionaalsete tehniliste teenuste pakkumisele, et vastata pooljuhtide, LED-ide ja teiste edasijõudnud tööstusharude rangetele nõuetele.
