LNOI vahvel (liitiumniobaat isolaatoril) telekommunikatsiooniandurid, kõrge elektrooptiline
Detailne diagramm
Ülevaade
Kiibikarbi sees on sümmeetrilised sooned, mille mõõtmed on rangelt ühesugused, et toetada kiibi kahte külge. Kristallkarp on üldiselt valmistatud poolläbipaistvast plastmaterjalist (PP), mis on vastupidav temperatuurile, kulumisele ja staatilisele elektrile. Pooljuhtide tootmisel kasutatakse metalliprotsesside segmentide eristamiseks erinevat värvi lisandeid. Pooljuhtide väikese võtme suuruse, tihedate mustrite ja väga rangete osakeste suuruse nõuete tõttu tootmises tuleb kiibikarbile tagada puhas keskkond, et see saaks ühenduda erinevate tootmismasinate mikrokeskkonnakasti reaktsiooniõõnsusega.
Valmistamismetoodika
LNOI vahvlite valmistamine koosneb mitmest täpsest etapist:
1. samm: heeliumiioonide implanteerimineHeeliumiioonid viiakse ioonimplantaatori abil LN-kristalli. Need ioonid jäävad kindlale sügavusele, moodustades nõrgenenud tasapinna, mis lõpuks hõlbustab kile eraldumist.
2. samm: aluspinna moodustamineEraldi räni- või lüsiinkiudplaat oksüdeeritakse või kihistatakse SiO2-ga, kasutades PECVD-d või termilist oksüdeerimist. Selle pealmine pind tasapinnatakse optimaalse nakkuvuse saavutamiseks.
3. samm: LN-i sidumine aluspinnagaIoon-implanteeritud LN-kristall pööratakse ümber ja kinnitatakse alusplaadile otsese vahvli liimimise abil. Uurimiskeskkonnas saab bensotsüklobuteeni (BCB) kasutada liimina, et lihtsustada liimimist vähem rangetes tingimustes.
4. samm: termiline töötlemine ja kile eraldamineLõõmutamine aktiveerib mullide moodustumise implanteeritud sügavusel, võimaldades õhukese kile (pealmise LN-kihi) eraldumist massist. Koorimise lõpuleviimiseks kasutatakse mehaanilist jõudu.
5. samm: pinna poleerimineKeemilist mehaanilist poleerimist (CMP) rakendatakse LN pealmise pinna silumiseks, parandades optilist kvaliteeti ja seadme saagikust.
Tehnilised parameetrid
| Materjal | Optiline Hinne LiNbO3 vahvlid (valged or Must) | |
| Curie Temperatuur | 1142 ± 0,7 ℃ | |
| Lõikamine Nurk | X/Y/Z jne | |
| Läbimõõt/suurus | 2”/3”/4” ±0,03 mm | |
| Tol(±) | <0,20 mm ±0,005 mm | |
| Paksus | 0,18–0,5 mm või rohkem | |
| Esmane Korter | 16 mm/22 mm/32 mm | |
| TTV | <3 μm | |
| Vibu | -30 | |
| Lõime | <40 μm | |
| Orientatsioon Korter | Kõik saadaval | |
| Pind Tüüp | Ühepoolne poleeritud (SSP) / kahepoolne poleeritud (DSP) | |
| Poleeritud külg Ra | <0,5 nm | |
| S/D | 20/10 | |
| Äär Kriteeriumid | R = 0,2 mm C-tüüpi or Härjaliha | |
| Kvaliteet | Tasuta of pragu (mullid ja kaasatud) | |
| Optiline legeeritud | Mg/Fe/Zn/MgO jne eest optiline hinne LN vahvlid iga taotletud | |
| Vahvel Pind Kriteeriumid | Murdumisnäitaja | Ei = 2,2878 / Ne = 2,2033 lainepikkusel 632 nm / prisma siduri meetod. |
| Saastumine, | Puudub | |
| Osakesed c>0,3 μ m | <=30 | |
| Kriimustus, mõranemine | Puudub | |
| Defekt | Ei mingeid servapragusid, kriimustusi, saejälgi ega plekke | |
| Pakend | Kogus/vahvlikarp | 25 tk karbis |
Kasutusjuhud
Tänu oma mitmekülgsusele ja jõudlusele kasutatakse LNOI-d paljudes tööstusharudes:
Fotoonika:Kompaktsed modulaatorid, multiplekserid ja footonahelad.
Raadiosagedus/Akustika:Akustooptilised modulaatorid, raadiosagedusfiltrid.
Kvantarvutus:Mittelineaarsed sagedussegistid ja footonpaari generaatorid.
Kaitse ja lennundus:Madala kadudega optilised güroskoobid, sagedusnihutusseadmed.
Meditsiiniseadmed:Optilised biosensorid ja kõrgsagedussignaalisondid.
KKK
K: Miks eelistatakse optilistes süsteemides LNOI-d SOI-le?
A:LNOI-l on paremad elektro-optilised koefitsiendid ja laiem läbipaistvusvahemik, mis võimaldab footonahelates suuremat jõudlust.
K: Kas CMP on pärast jagamist kohustuslik?
A:Jah. Pärast ioonlõikamist on paljastunud lümfisõlmede pind kare ja see tuleb optilise kvaliteediga spetsifikatsioonidele vastamiseks poleerida.
K: Milline on maksimaalne saadaolev vahvli suurus?
A:Kommertskasutuses olevad LNOI-vahvlid on peamiselt 3- ja 4-tollised, kuigi mõned tarnijad arendavad ka 6-tolliseid variante.
K: Kas LN-kihti saab pärast jagamist uuesti kasutada?
A:Baaskristalli saab mitu korda uuesti poleerida ja taaskasutada, kuigi selle kvaliteet võib pärast mitut tsüklit halveneda.
K: Kas LNOI-plaadid ühilduvad CMOS-töötlusega?
A:Jah, need on loodud nii, et need sobiksid tavapäraste pooljuhtide valmistamisprotsessidega, eriti räni substraatide kasutamisel.
