LiTaO3 vahvel 2-8 tolli 10x10x0,5 mm 1sp 2sp 5G/6G side jaoks
Tehnilised parameetrid
Nimi | Optilise kvaliteediga LiTaO3 | Helitaseme tase LiTaO3 |
Aksiaalne | Z-lõige + / - 0,2 ° | 36° Y-lõige / 42° Y-lõige / X-lõige (+/- 0,2°) |
Läbimõõt | 76,2 mm + / - 0,3 mm/ 100±0,2 mm | 76,2 mm +/- 0,3 mm 100 mm +/- 0,3 mm või 150 ± 0,5 mm |
Nulltasand | 22 mm +/- 2 mm | 22 mm +/- 2 mm 32 mm +/- 2 mm |
Paksus | 500 µm +/- 5 mm 1000 µm +/- 5 mm | 500 µm +/- 20 mm 350 µm +/- 20 mm |
TTV | ≤ 10 μm | ≤ 10 μm |
Curie temperatuur | 605 °C +/- 0,7 °C (DTA-meetod) | 605 °C + / -3 °C (DTA-meetod |
Pinna kvaliteet | Kahepoolne poleerimine | Kahepoolne poleerimine |
kaldservadega | servade ümardamine | servade ümardamine |
Peamised omadused
1. Elektrilised ja optilised omadused
· Elektrooptiline koefitsient: r33 saavutab 30 pm/V (X-lõik), mis on 1,5 × kõrgem kui LiNbO3, võimaldades ülilairibalist elektrooptilist modulatsiooni (ribalaius >40 GHz).
· Lai spektraalne reageerimisvõime: Läbilaskvusvahemik 0,4–5,0 μm (8 mm paksus), ultraviolettkiirguse neeldumisservaga kuni 280 nm, ideaalne UV-laserite ja kvantpunktseadmete jaoks.
· Madal püroelektriline koefitsient: dP/dT = 3,5×10⁻⁴ C/(m²·K), mis tagab stabiilsuse kõrge temperatuuriga infrapunaandurites.
2.Termilised ja mehaanilised omadused
· Kõrge soojusjuhtivus: 4,6 W/m·K (X-cut), neljakordne kvartsist, talub termilist tsükleid -200–500 °C.
· Madal soojuspaisumistegur: CTE = 4,1 × 10⁻⁶/K (25–1000 °C), ühildub silikoonpakenditega termilise pinge minimeerimiseks.
3. Defektide kontroll ja töötlemise täpsus
· Mikrotoru tihedus: <0,1 cm⁻² (8-tollised vahvlid), dislokatsioonitihedus <500 cm⁻² (kontrollitud KOH söövitamise teel).
· Pinna kvaliteet: CMP-poleeritud Ra <0,5 nm-ni, mis vastab EUV litograafiakvaliteediga tasapinna nõuetele.
Peamised rakendused
Domeen | Rakendusstsenaariumid | Tehnilised eelised |
Optiline side | 100G/400G DWDM-laserid, ränifotoonika hübriidmoodulid | LiTaO3 vahvli laia spektriga läbilaskvus ja madal lainejuhi kadu (α <0,1 dB/cm) võimaldavad C-riba laiendamist. |
5G/6G side | SAW-filtrid (1,8–3,5 GHz), BAW-SMR-filtrid | 42° Y-lõikega vahvlid saavutavad Kt² >15%, pakkudes madalat sisestamiskaotust (<1,5 dB) ja suurt mähisefekti (>30 dB). |
Kvanttehnoloogiad | Üksikfootoni detektorid, parameetrilised allakonversiooniallikad | Kõrge mittelineaarne koefitsient (χ(2) = 40 pm/V) ja madal tumeloenduse kiirus (<100 loendust/s) suurendavad kvanttäpsust. |
Tööstuslikud sensorid | Kõrge temperatuuriga rõhuandurid, voolutrafod | LiTaO3 vahvli piesoelektriline karakteristik (g33 >20 mV/m) ja kõrge temperatuuritaluvus (>400 °C) sobivad äärmuslikesse keskkondadesse. |
XKH teenused
1. Vahvlite eritellimusel valmistamine
· Suurus ja lõikamine: 2–8-tollised vahvlid X/Y/Z-lõikega, 42° Y-lõikega ja kohandatud nurklõigetega (tolerants ±0,01°).
· Dopingukontroll: Fe ja Mg dopeerimine Czochralski meetodil (kontsentratsioonivahemik 10¹⁶–10¹⁹ cm⁻³) elektrooptiliste koefitsientide ja termilise stabiilsuse optimeerimiseks.
2. Täiustatud protsessitehnoloogiad
· Perioodiline poleerimine (PPLT): Smart-Cut tehnoloogia LTOI-vahvlitele, mis saavutab ±10 nm domeeni periooditäpsuse ja kvaasifaasiliselt sobitatud (QPM) sagedusmuundamise.
· Heterogeenne integratsioon: Si-põhised LiTaO3 komposiitplaadid (POI) paksuse kontrolliga (300–600 nm) ja soojusjuhtivusega kuni 8,78 W/m·K kõrgsageduslike SAW-filtrite jaoks.
3. Kvaliteedijuhtimissüsteemid
· Lõpptestimine: Ramani spektroskoopia (polütüübi kontrollimine), XRD (kristallilisus), AFM (pinna morfoloogia) ja optilise ühtluse testimine (Δn <5×10⁻⁵).
4. Globaalse tarneahela tugi
· Tootmisvõimsus: Kuutoodang >5000 vahvlit (8-tollised: 70%), 48-tunnise avariitarnega.
· Logistikavõrgustik: Katvus Euroopas, Põhja-Ameerikas ja Aasia ja Vaikse ookeani piirkonnas õhu-/meretranspordi kaudu temperatuurikontrollitud pakenditega.


