Kõrgjõudlusega alumiiniumoksiid-keraamiline efektorots (kahvliharu) pooljuhtide ja puhasruumide automatiseerimiseks

Lühike kirjeldus:

Alumiiniumoksiidi keraamiline efektor, mida nimetatakse ka keraamiliseks kahvliharuks või robotkeraamiliseks käeks, on ülitäpne käsitsemiskomponent, mis on loodud pooljuhtide, fotogalvaanika, paneelekraanide ja ülipuhaste laborikeskkondade automatiseeritud süsteemide jaoks. See on konstrueeritud pakkuma erakordset termilist stabiilsust, mehaanilist jäikust ja keemilist vastupidavust, pakkudes tundlike materjalide, näiteks räniplaatide, klaasaluste ja elektrooniliste mikrokomponentide puhast, usaldusväärset ja ohutut transporti.

Saada meile e-kiri

Omadused

Detailne diagramm

Toote tutvustus

Robotilise efektormehhanismi tüübina on see keraamiline komponent viimane liides automatiseerimissüsteemi ja tooriku vahel. Sellel on oluline roll täpse ülekande, joondamise, laadimise/mahalaadimise ja positsioneerimise ülesannetes puhasruumides ja vaakumkeskkondades.

keraamiline-vars-pooljuhtide-vahvli-ajamile-G13

keraamiline-vars-pooljuhtide-vahvli-ajamile-G10

keraamiline-vars-pooljuhtide-vahvli-ajamile-G07

Materjali ülevaade – alumiiniumoksiidkeraamika (Al₂O₃)

Alumiiniumoksiidkeraamika on väga stabiilne ja keemiliselt inertne tehniline keraamiline materjal, mis on tuntud oma suurepäraste mehaaniliste ja elektriliste omaduste poolest. Nendes efektorseadmetes kasutatav kõrge puhtusastmega (≥ 99,5%) alumiiniumoksiid tagab:

Kõrge kõvadus (Mohs 9)Ainult teemandi järel teisel kohal olev alumiiniumoksiid pakub äärmist kulumiskindlust.
Kõrge temperatuuri taluvusSäilitab struktuurilise terviklikkuse temperatuuril üle 1600 °C.
Keemiline inertsVastupidav hapetele, leelistele, lahustitele ja plasma söövituskeskkonnale.
ElektriisolatsioonKõrge dielektrilise tugevusega ja väikese dielektrilise kaduga.
Madal soojuspaisumineTagab mõõtmete stabiilsuse termilistes tsüklilistes keskkondades.
Madal osakeste tekeHädavajalik puhasruumi ühilduvuse tagamiseks (klass 10 kuni klass 1000).

Need omadused muudavad alumiiniumoksiidkeraamika ideaalseks missioonikriitilisteks toiminguteks saastumise suhtes tundlikes tööstusharudes.

Funktsionaalsed rakendused

Alumiiniumoksiidkeraamilist efektorpead kasutatakse laialdaselt kõrgtehnoloogilistes tööstusprotsessides, eriti seal, kus traditsioonilised metalli- või plastmaterjalid ei vasta ootustele termilise paisumise, saastumise või korrosiooni tõttu. Peamised rakendusvaldkonnad on järgmised:

Pooljuhtplaatide ülekanne
Fotolitograafia laadimis- ja mahalaadimissüsteemid
Klaasist aluspinna käsitsemine OLED- ja LCD-liinidel
Kristallilise räni vahvli ülekanne päikesepatareide tootmisel
Automatiseeritud optiline või mikroelektrooniline kontroll
Proovide transport analüütilistes või biomeditsiinilaborites
Vaakumkeskkonna automatiseerimissüsteemid

Selle võime toimida ilma osakeste või staatilise laenguta muudab selle asendamatuks täpsete robottoimingute jaoks puhasruumide automatiseerimisel.

Kujundusfunktsioonid ja kohandamine

Iga keraamiline efektor on konstrueeritud sobima konkreetse robotkäe või kiibi käsitsemissüsteemiga. Toetame täielikku kohandamist, mis põhineb:

Vahvli suuruse ühilduvus: 2", 4", 6", 8", 12" ja rohkem
Pesa geomeetria ja vahekaugusSobib servahaarde, tagakülje toe või sälgulise vahvli disaini jaoks
ImiportidIntegreeritud vaakumaugud või -kanalid kontaktivabaks käsitsemiseks
PaigalduskonfiguratsioonAugud, keermed ja pilud, mis on kohandatud teie roboti otsatööriista äärikule
PinnatöötlusPoleeritud, soppitud või peenelt lihvitud viimistlus (saadaval ka Ra < 0,2 µm)
ServakaitseÜmarad nurgad või kaldservadega pind, et vältida kiibi kahjustusi

Klientide esitatud CAD-jooniste või 3D-mudelite abil saavad meie insenerid optimeerida iga kahvliharu kaalu, tugevuse ja puhtuse osas.

en_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_image

Keraamiliste efektormootorite eelised

Funktsioon	Kasu
Suur mehaaniline jäikus	Säilitab mõõtmete täpsuse robotkoormuste all
Suurepärane termiline jõudlus	Toimib usaldusväärselt kõrge temperatuuri või plasmakeskkondades
Nullmetalli saastumine	Kriitiliste pooljuhtide töötlemisel puudub ioonsaastumise oht
Madala hõõrdumisega pind	Vähendab kriimustusohtu vahvli- või klaaspindadel
Antistaatiline ja mittemagnetiline	Ei tõmba ligi tolmu ega mõjuta magnetiliselt tundlikke komponente
Pikk kasutusiga	Suurepärane kulumiskindlus korduvates kiiretes automatiseerimistsüklites
Ülimalt puhas ühilduvus	Sobib ISO 14644 puhasruumidesse (klass 100 ja alla selle)

Võrreldes plast- või alumiiniumvarrastega pakub alumiiniumoksiidkeraamika oluliselt paremat keemilist ja füüsikalist stabiilsust minimaalsete hooldusvajadustega.

Kinnisvara	Metallist käsi	Plastist käsi	Alumiiniumoksiidi keraamiline käsi
Kõvadus	Mõõdukas	Madal	Väga kõrge (Mohsi skaala 9)
Termiline stabiilsus	≤ 500 °C	≤ 150 °C	≥ 1600 °C
Keemiline vastupidavus	Mõõdukas	Kehv	Suurepärane
Puhasruumi sobivus	Keskmine	Madal	Väga kõrge
Kulumiskindlus	Keskmine	Madal	Silmapaistev
Dielektriline tugevus	Madal	Keskmine	Kõrge
Kohandatud mehaaniline täpsus	Piiratud	Mõõdukas	Kõrge (võimalik ±0,01 mm)

Tehnilised andmed

Parameeter	Väärtus
Materjal	Kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiid (≥ 99,5%)
Töötemperatuur	Kuni 1600°C
Pinna karedus	Ra ≤ 0,2 µm (valikuline)
Ühilduvad vahvli suurused	2" kuni 12" või kohandatud
Tasasuse tolerants	±0,01 mm (sõltub rakendusest)
Vaakum imemisabi	Valikulised, kohandatavad kanalid
Paigaldusvõimalused	Läbivpoltidega, äärikuga, soontega aukudega

Korduma kippuvad küsimused (KKK)

K1: Kas efektorpea saab integreerida olemasolevatesse robotsüsteemidesse?
A1:Jah. Toetame teie robotliidesel põhinevat kohandamist. Täpseks kohandamiseks võite meile saata CAD-joonise või ääriku mõõtmed.

K2: Kas keraamilised käepidemed purunevad kasutamise ajal kergesti?
A2:Kuigi keraamika on loomupäraselt habras, kasutavad meie disainilahendused pingekontsentratsiooni minimeerimiseks optimeeritud geomeetriat. Nõuetekohaste kasutustingimuste korral on nende kasutusiga oluliselt pikem kui metallil või plastikul.

K3: Kas seda on võimalik kasutada ülikõrge vaakumi või plasma söövituskambrites?
A3:Jah. Alumiiniumoksiidi keraamika ei eralda gaase, on termiliselt stabiilne ja korrosioonikindel – sobib ideaalselt kõrgvaakumi, reaktiivse gaasi või plasma keskkondadesse.

K4: Kuidas neid komponente puhastatakse või hooldatakse?
A4:Neid saab puhastada desinfitseeritud vee, alkoholi või puhasruumis kasutatavate pesuvahenditega. Tänu keemilisele stabiilsusele ja inertsele pinnale ei ole vaja spetsiaalset hooldust.

Meist

XKH on spetsialiseerunud spetsiaalse optilise klaasi ja uute kristallmaterjalide kõrgtehnoloogilisele arendamisele, tootmisele ja müügile. Meie tooted on mõeldud optilisele elektroonikale, tarbeelektroonikale ja sõjaväele. Pakume safiiroptilisi komponente, mobiiltelefonide objektiivikatteid, keraamikat, LT-d, ränikarbiidist SIC-i, kvartsist ja pooljuhtkristallplaate. Tänu oskusteabele ja tipptasemel seadmetele oleme silmapaistvad mittestandardsete toodete töötlemisel, seades eesmärgiks olla juhtiv optoelektrooniliste materjalide kõrgtehnoloogiline ettevõte.