FZ CZ Si vahvel laos 12-tolline silikoonvahvel Prime või Test
Vahvlikarbi tutvustus
Poleeritud vahvlid
Silikoonplaadid, mis on spetsiaalselt mõlemalt poolt poleeritud, et saada peegelpind. Suurepärased omadused, nagu puhtus ja lamedus, määravad selle vahvli parimad omadused.
Legeerimata räniplaadid
Neid tuntakse ka sisemiste räniplaatidena. See pooljuht on räni puhas kristalliline vorm, ilma lisandita kogu vahvli ulatuses, mistõttu on see ideaalne ja täiuslik pooljuht.
Legeeritud räniplaadid
N-tüüpi ja P-tüüpi on kahte tüüpi legeeritud räniplaadid.
N-tüüpi legeeritud räniplaadid sisaldavad arseeni või fosforit. Seda kasutatakse laialdaselt täiustatud CMOS-seadmete valmistamisel.
Booriga legeeritud P-tüüpi räniplaadid. Enamasti kasutatakse seda trükkskeemide või fotolitograafia valmistamiseks.
Epitaksiaalsed vahvlid
Epitaksiaalsed vahvlid on tavalised vahvlid, mida kasutatakse pinna terviklikkuse saavutamiseks. Epitaksiaalsed vahvlid on saadaval paksude ja õhukeste vahvlite kujul.
Energiatarbimise reguleerimiseks ja seadmete võimsuse reguleerimiseks kasutatakse ka mitmekihilisi epitaksiaalvahvleid ja pakse epitaksiaalplaate.
Kõrgemates MOS-instrumentides kasutatakse tavaliselt õhukesi epitaksiaalseid vahvleid.
SOI vahvlid
Neid vahvleid kasutatakse ühekristallilise räni peente kihtide elektriliseks isoleerimiseks kogu räniplaadist. SOI-plaate kasutatakse tavaliselt ränifotoonikas ja suure jõudlusega RF-rakendustes. SOI-plaate kasutatakse ka parasiitseadmete mahtuvuse vähendamiseks mikroelektroonikaseadmetes, mis aitab parandada jõudlust.
Miks on vahvlite valmistamine keeruline?
12-tollisi ränivahvleid on saagikuse mõttes väga raske viilutada. Kuigi räni on kõva, on see ka rabe. Karedad alad tekivad, kuna saetud vahvli servad kipuvad purunema. Teemantkettaid kasutatakse vahvli servade silumiseks ja kahjustuste eemaldamiseks. Pärast lõikamist lähevad vahvlid kergesti katki, sest neil on nüüd teravad servad. Vahvli servad on kujundatud nii, et haprad, teravad servad on välistatud ja libisemise võimalus väheneb. Servavormimisoperatsiooni tulemusena reguleeritakse vahvli läbimõõtu, ümardatakse vahvel (peale viilutamist on äralõigatud vahvel ovaalne), tehakse sälgud ehk orienteeritud tasapinnad või suurused.