Täisautomaatne vahvlirõngaste lõikamise seade Töösuurus 8-tolline/12-tolline vahvlirõngaste lõikamine

Täisautomaatne vahvlirõngaste lõikamise seade Töömõõt 8-tolline/12-tolline vahvlirõngaste lõikamine Soovitatud pilt

Lühike kirjeldus:

XKH on iseseisvalt välja töötanud täisautomaatse pooljuhtide tootmisprotsesside jaoks mõeldud täiustatud lahenduse, mis on loodud pooljuhtide esiotsa tootmisprotsesside jaoks. See seade sisaldab uuenduslikku mitmeteljelist sünkroonjuhtimistehnoloogiat ja sellel on ülijäik spindlisüsteem (maksimaalne pöörlemiskiirus: 60 000 p/min), mis tagab täpse servade lõikamise lõiketäpsusega kuni ±5 μm. Süsteemil on suurepärane ühilduvus erinevate pooljuhtsubstraatidega, sealhulgas, kuid mitte ainult:
1. Ränivahvlid (Si): sobivad 8–12-tolliste vahvlite servade töötlemiseks；
2. Liitpooljuhid: kolmanda põlvkonna pooljuhtmaterjalid, näiteks GaAs ja SiC；
3. Spetsiaalsed aluspinnad: piesoelektrilised materjalist vahvlid, sealhulgas LT/LN；

Modulaarne disain toetab mitmete kulumaterjalide, sh teemantkettade ja laserlõikepeade kiiret vahetamist, kusjuures ühilduvus ületab tööstusstandardeid. Spetsiaalsete protsessinõuete jaoks pakume terviklikke lahendusi, mis hõlmavad järgmist:
· Spetsiaalne lõikematerjalide pakkumine
· Kohandatud töötlemise teenused
· Protsessi parameetrite optimeerimise lahendused

Saada meile e-kiri

Omadused

Tehnilised parameetrid

Parameeter	Ühik	Spetsifikatsioon
Maksimaalne tooriku suurus	mm	ø12"
Spindel	Konfiguratsioon	Üksik spindel
	Kiirus	3000–60 000 p/min
	Väljundvõimsus	1,8 kW (2,4 lisavarustusena) 30 000 min-1 juures
	Maksimaalne tera läbimõõt	Ø58 mm
X-telg	Lõikeulatus	310 mm
Y-telg	Lõikeulatus	310 mm
	Sammude samm	0,0001 mm
	Positsioneerimistäpsus	≤0,003 mm/310 mm, ≤0,002 mm/5 mm (üksikviga)
Z-telg	Liikumise resolutsioon	0,00005 mm
Z-telg	Korduvus	0,001 mm
θ-telg	Maksimaalne pöörlemine	380 kraadi
Spindli tüüp		Üks spindel, mis on varustatud jäiga teraga rõngaslõikamiseks
Rõnga lõikamise täpsus	μm	±50
Vahvli positsioneerimise täpsus	μm	±50
Ühe vahvli efektiivsus	min/vahvel	8
Mitme vahvli efektiivsus		Kuni 4 vahvlit töödeldakse samaaegselt
Varustuse kaal	kg	≈3200
Seadme mõõtmed (L×S×K)	mm	2730 × 1550 × 2070

Tööpõhimõte

Süsteem saavutab erakordse trimmimisjõudluse tänu järgmistele põhitehnoloogiatele:

1. Intelligentne liikumisjuhtimissüsteem:
· Ülitäpne lineaarmootoriga ajam (korduva positsioneerimise täpsus: ±0,5 μm)
· Kuueteljeline sünkroonne juhtimine, mis toetab keerukat trajektoori planeerimist
· Reaalajas vibratsiooni summutamise algoritmid, mis tagavad lõikamise stabiilsuse

2. Täiustatud tuvastussüsteem:
· Integreeritud 3D-laserkõrgusandur (täpsus: 0,1 μm)
· Kõrglahutusega CCD visuaalne positsioneerimine (5 megapikslit)
· Veebipõhine kvaliteedikontrolli moodul

3. Täielikult automatiseeritud protsess:
· Automaatne laadimine/mahalaadimine (ühildub FOUP-standardi liidesega)
· Intelligentne sorteerimissüsteem
· Suletud ahelaga puhastusseade (puhtusaste: klass 10)

Tüüpilised rakendused

See seade pakub märkimisväärset väärtust pooljuhtide tootmise rakendustes:

Rakendusvaldkond	Protsessimaterjalid	Tehnilised eelised
IC-tootmine	8/12" ränivahvlid	Parandab litograafia joondamist
Toiteseadmed	SiC/GaN vahvlid	Hoiab ära servadefektide tekkimise
MEMS-andurid	SOI vahvlid	Tagab seadme töökindluse
RF-seadmed	GaAs vahvlid	Parandab kõrgsageduslikku jõudlust
Täiustatud pakendamine	Taastatud vahvlid	Suurendab pakendi saagikust

Omadused

1. Nelja jaama konfiguratsioon kõrge töötlemise efektiivsuse tagamiseks;
2. TAIKO rõnga stabiilne eemaldamine ja sidemete eemaldamine;
3.Kõrge ühilduvus peamiste tarbekaupadega；
4. Mitmeteljeline sünkroonne kärpimistehnoloogia tagab täpse serva lõikamise;
5. Täielikult automatiseeritud protsessivoog vähendab oluliselt tööjõukulusid ；
6. Kohandatud töölaua disain võimaldab spetsiaalsete konstruktsioonide stabiilset töötlemist ；

Funktsioonid

1.Rõnga langemise tuvastamise süsteem;
2. Töölaua automaatne puhastamine;
3. Intelligentne UV-kiirgusega eemaldamise süsteem;
4.Operatsioonilogi salvestamine；
5. Tehase automatiseerimismooduli integreerimine;

Teenuse osutamise kohustus

XKH pakub terviklikke ja kogu elutsükli vältel kehtivaid tugiteenuseid, mis on loodud seadmete jõudluse ja tegevuse efektiivsuse maksimeerimiseks kogu teie tootmisprotsessi vältel.
1. Kohandamise teenused
· Kohandatud seadmete konfiguratsioon: Meie insenerimeeskond teeb klientidega tihedat koostööd, et optimeerida süsteemi parameetreid (lõikekiirus, tera valik jne), lähtudes konkreetsetest materjali omadustest (Si/SiC/GaAs) ja protsessinõuetest.
· Protsessiarenduse tugi: Pakume proovide töötlemist koos üksikasjalike analüüsiaruannetega, mis sisaldavad serva kareduse mõõtmist ja defektide kaardistamist.
· Kulumaterjalide ühisarendus: Uute materjalide (nt Ga₂O₃) puhul teeme koostööd juhtivate kulumaterjalide tootjatega, et töötada välja rakenduspõhised labad/laseroptika.

2. Professionaalne tehniline tugi
· Spetsiaalne kohapealne tugi: määrake kriitilisteks käivitusfaasideks (tavaliselt 2–4 nädalat) sertifitseeritud insenerid, mis hõlmavad järgmist:
Seadmete kalibreerimine ja protsesside peenhäälestamine
Operaatori pädevuskoolitus
ISO 5. klassi puhasruumi integreerimise juhend
· Ennustav hooldus: kvartalikontrollid vibratsioonianalüüsi ja servomootorite diagnostikaga planeerimata seisakute vältimiseks.
· Kaugmonitooring: seadmete jõudluse jälgimine reaalajas meie IoT platvormi (JCFront Connect®) kaudu koos automatiseeritud anomaaliateadetega.

3. Lisaväärtust pakkuvad teenused
· Protsesside teadmusbaas: Juurdepääs enam kui 300 valideeritud lõikeretseptile erinevate materjalide jaoks (uuendatakse kord kvartalis).
· Tehnoloogia tegevuskava vastavusse viimine: Muutke oma investeering tulevikukindlaks riist-/tarkvara uuendamise võimalustega (nt tehisintellektil põhinev defektide tuvastamise moodul).
· Hädaolukorrale reageerimine: garanteeritud 4-tunnine kaugdiagnoos ja 48-tunnine kohapealne sekkumine (ülemaailmne leviala).

4. Teenuste infrastruktuur
· Toimivusgarantii: Lepinguline kohustus tagada seadmete ≥98% tööaeg koos SLA-toega reageerimisaegadega.

Pidev täiustamine

Teenuse osutamise parandamiseks viime läbi kaks korda aastas kliendirahulolu-uuringuid ja rakendame Kaizeni algatusi. Meie teadus- ja arendusmeeskond muudab kohapealsed uuringud seadmete täiustamiseks – 30% püsivara täiustustest pärineb klientide tagasisidest.