Dia300x1,0 mmt paksusega safiirvahvel C-Plane SSP/DSP
Vahvlikarbi tutvustus
Kristallmaterjalid | 99 999% Al2O3, kõrge puhtusastmega, monokristalliline, Al2O3 | |||
Kristalli kvaliteet | Kaasamised, plokkmärgid, kaksikud, värv, mikromullid ja hajutuskeskused puuduvad | |||
Läbimõõt | 2 tolli | 3 tolli | 4 tolli | 6 tolli ~ 12 tolli |
50,8± 0,1 mm | 76,2±0,2 mm | 100±0,3 mm | Vastavalt standardtoodangu sätetele | |
Paksus | 430±15 µm | 550±15 µm | 650±20 µm | Saab kliendi järgi kohandada |
Orienteerumine | C-tasand (0001) kuni M-tasand (1-100) või A-tasand (1 1-2 0) 0,2±0,1° /0,3±0,1°, R-tasand (1-1 0 2), A-tasand (1 1-2 0 ), M-tasand (1-1 0 0), mis tahes suund, mis tahes nurk | |||
Esmane lame pikkus | 16,0±1 mm | 22,0±1,0 mm | 32,5±1,5 mm | Vastavalt standardtoodangu sätetele |
Esmane tasapinnaline suund | A-tasapind (1 1-2 0 ) ± 0,2° | |||
TTV | ≤10 µm | ≤15 µm | ≤20 µm | ≤30 µm |
LTV | ≤10 µm | ≤15 µm | ≤20 µm | ≤30 µm |
TIR | ≤10 µm | ≤15 µm | ≤20 µm | ≤30 µm |
VIBU | ≤10 µm | ≤15 µm | ≤20 µm | ≤30 µm |
lõime | ≤10 µm | ≤15 µm | ≤20 µm | ≤30 µm |
Esipind | Epipoleeritud (Ra < 0,2 nm) |
*Vibu: vaba, kinnitamata vahvli keskpinna keskpunkti kõrvalekalle võrdlustasapinnast, kus võrdlustasapind on määratletud võrdkülgse kolmnurga kolme nurgaga.
*Wool: erinevus vaba, kinnitamata vahvli keskmise pinna maksimaalse ja minimaalse kauguse vahel eespool määratletud võrdlustasapinnast.
Kvaliteetsed tooted ja teenused järgmise põlvkonna pooljuhtseadmete ja epitaksiaalse kasvu jaoks:
Kõrge tasasus (juhitav TTV, vibu, lõime jne)
Kvaliteetne puhastus (väike osakeste saastumine, väike metallide saastumine)
Substraadi puurimine, soonimine, lõikamine ja tagakülje poleerimine
Andmete, näiteks aluspinna puhtuse ja kuju lisamine (valikuline)
Kui teil on vajadus safiirsubstraate, võtke julgelt ühendust:
mail:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
Me pöördume teie poole esimesel võimalusel!