8-tolline SiC Tootmisklassi vahvel 4H-N SiC substraat

Lühike kirjeldus:

8-tolliseid SiC-substraate kasutatakse suure võimsusega elektroonikaseadmetes, nagu võimsus-MOSFET-id (Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistorid), Schottky dioodid ja muud võimsusega pooljuhtseadmed.

Saatke meile e-kiri

Toote üksikasjad

Tootesildid

Järgmine tabel näitab meie 8-tolliste SiC vahvlite tehnilisi andmeid:

8-tollise N-tüüpi SiC DSP spetsifikatsioonid
Number	Üksus	Üksus	Tootmine	Uurimine	Mannekeen
1: parameetrid
1.1	polütüüp	--	4H	4H	4H
1.2	pinna orientatsioon	°	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5
2: elektriline parameeter
2.1	dopant	--	n-tüüpi lämmastik	n-tüüpi lämmastik	n-tüüpi lämmastik
2.2	takistus	ohm · cm	0,015-0,025	0,01-0,03	NA
3: mehaaniline parameeter
3.1	läbimõõt	mm	200±0,2	200±0,2	200±0,2
3.2	paksus	μm	500±25	500±25	500±25
3.3	Sälgu orientatsioon	°	[1–100]±5	[1–100]±5	[1–100]±5
3.4	Sälgu sügavus	mm	1-1,5	1-1,5	1-1,5
3.5	LTV	μm	≤5 (10 mm * 10 mm)	≤5 (10 mm * 10 mm)	≤10 (10 mm * 10 mm)
3.6	TTV	μm	≤10	≤10	≤15
3.7	Vibu	μm	-25-25	-45-45	-65-65
3.8	lõime	μm	≤30	≤50	≤70
3.9	AFM	nm	Ra≤0,2	Ra≤0,2	Ra≤0,2
4: Struktuur
4.1	mikrotoru tihedus	ea/cm2	≤2	≤10	≤50
4.2	metalli sisaldus	aatomit/cm2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	TSD	ea/cm2	≤500	≤1000	NA
4.4	BPD	ea/cm2	≤2000	≤5000	NA
4.5	TED	ea/cm2	≤7000	≤10 000	NA
5.Eesmine kvaliteet
5.1	ees	--	Si	Si	Si
5.2	pinnaviimistlus	--	Si-face CMP	Si-face CMP	Si-face CMP
5.3	osakest	ea/vahvel	≤100 (suurus≥0,3 μm)	NA	NA
5.4	kriimustada	ea/vahvel	≤5, kogupikkus ≤200 mm	NA	NA
5.5	Edge laastud/sõled/praod/plekid/saaste	--	Mitte ühtegi	Mitte ühtegi	NA
5.6	Polütüüpsed alad	--	Mitte ühtegi	Pindala ≤10%	Pindala ≤30%
5.7	eesmine märgistus	--	Mitte ühtegi	Mitte ühtegi	Mitte ühtegi
6: selja kvaliteet
6.1	tagumine viimistlus	--	C-näo MP	C-näo MP	C-näo MP
6.2	kriimustada	mm	NA	NA	NA
6.3	Taga serva defektid laastud/taanded	--	Mitte ühtegi	Mitte ühtegi	NA
6.4	Selja karedus	nm	Ra≤5	Ra≤5	Ra≤5
6.5	Tagumine märgistus	--	Sälk	Sälk	Sälk
7: serv
7.1	serv	--	Chamfer	Chamfer	Chamfer
8: pakett
8.1	pakendamine	--	Epi-valmis vaakumiga pakendamine	Epi-valmis vaakumiga pakendamine	Epi-valmis vaakumiga pakendamine
8.2	pakendamine	--	Mitme vahvliga kasseti pakend	Mitme vahvliga kasseti pakend	Mitme vahvliga kasseti pakend