8-tolline SiC tootmiskvaliteediga vahvel 4H-N SiC substraat
Järgmises tabelis on näidatud meie 8-tolliste SiC-vahvlite spetsifikatsioonid:
| 8-tollise N-tüüpi SiC DSP spetsifikatsioonid | |||||
| Number | Ese | Ühik | Tootmine | Uuringud | Mannekeen |
| 1:parameetrid | |||||
| 1.1 | polütüüp | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | pinna orientatsioon | ° | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 |
| 2: Elektriline parameeter | |||||
| 2.1 | dopant | -- | n-tüüpi lämmastik | n-tüüpi lämmastik | n-tüüpi lämmastik |
| 2.2 | eritakistus | oom · cm | 0,015–0,025 | 0,01–0,03 | NA |
| 3: Mehaaniline parameeter | |||||
| 3.1 | läbimõõt | mm | 200±0,2 | 200±0,2 | 200±0,2 |
| 3.2 | paksus | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Sälgu orientatsioon | ° | [1–100]±5 | [1–100]±5 | [1–100]±5 |
| 3.4 | Sälgu sügavus | mm | 1–1,5 | 1–1,5 | 1–1,5 |
| 3.5 | Eluaegne väärtus | μm | ≤5 (10 mm * 10 mm) | ≤5 (10 mm * 10 mm) | ≤10 (10 mm * 10 mm) |
| 3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Vibu | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | Lõime | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 |
| 4: Struktuur | |||||
| 4.1 | mikrotoru tihedus | tk/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | metallisisaldus | aatomit/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | tk/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | Piiratud piiriga isiksusehäire | tk/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | tk/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. Esikülje kvaliteet | |||||
| 5.1 | esiosa | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | pinnaviimistlus | -- | Si-pinnaga CMP | Si-pinnaga CMP | Si-pinnaga CMP |
| 5.3 | osake | ea/vahvel | ≤100 (suurus ≥0,3 μm) | NA | NA |
| 5.4 | kriimustus | ea/vahvel | ≤5, kogupikkus ≤200 mm | NA | NA |
| 5.5 | Äär mõlgid/mõlgid/praod/plekid/saastumine | -- | Puudub | Puudub | NA |
| 5.6 | Polüütüübi piirkonnad | -- | Puudub | Pindala ≤10% | Pindala ≤30% |
| 5.7 | esimärgistus | -- | Puudub | Puudub | Puudub |
| 6: Selja kvaliteet | |||||
| 6.1 | tagumine viimistlus | -- | C-kujuline MP | C-kujuline MP | C-kujuline MP |
| 6.2 | kriimustus | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Tagumiste defektide serv mõlgid/mõlgid | -- | Puudub | Puudub | NA |
| 6.4 | Selja karedus | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | Tagumine märgistus | -- | Sälk | Sälk | Sälk |
| 7:serv | |||||
| 7.1 | serv | -- | Kaldumine | Kaldumine | Kaldumine |
| 8: Pakett | |||||
| 8.1 | pakend | -- | Epi-valmis vaakumiga pakend | Epi-valmis vaakumiga pakend | Epi-valmis vaakumiga pakend |
| 8.2 | pakend | -- | Mitme vahvliga kasseti pakend | Mitme vahvliga kasseti pakend | Mitme vahvliga kasseti pakend |
Detailne diagramm
Kirjuta oma sõnum siia ja saada see meile