8-tolline 200 mm 4H-N SiC vahvli juhtiv mannekeen, uurimistöö kvaliteet

Lühike kirjeldus:

Transpordi-, energia- ja tööstusturgude arenedes kasvab nõudlus usaldusväärse ja suure jõudlusega jõuelektroonika järele. Pooljuhtide parema jõudluse vajaduste rahuldamiseks otsivad seadmete tootjad laia keelutsooniga pooljuhtmaterjale, näiteks meie 4H SiC Prime Grade 4H n-tüüpi ränikarbiidist (SiC) vahvlite portfelli.


Toote üksikasjad

Tootesildid

Tänu oma ainulaadsetele füüsikalistele ja elektroonilistele omadustele kasutatakse 200 mm SiC-vahvli pooljuhtmaterjali suure jõudlusega, kõrge temperatuuri, kiirguskindlate ja kõrgsageduslike elektroonikaseadmete loomiseks. 8-tollise SiC-substraadi hind langeb järk-järgult, kuna tehnoloogia areneb ja nõudlus kasvab. Hiljutised tehnoloogilised arengud on viinud 200 mm SiC-vahvlite tootmismahuni. SiC-vahvli pooljuhtmaterjalide peamised eelised võrreldes Si ja GaAs-vahvlitega: 4H-SiC elektrivälja tugevus laviinilaine lagunemise ajal on rohkem kui suurusjärgu võrra suurem kui Si ja GaAs-i vastavad väärtused. See viib sisselülitatud oleku takistuse Ron olulise vähenemiseni. Madal sisselülitatud oleku takistus koos suure voolutiheduse ja soojusjuhtivusega võimaldab kasutada väga väikeseid kiipe jõuseadmetes. SiC kõrge soojusjuhtivus vähendab kiibi soojustakistust. SiC-vahvlitel põhinevate seadmete elektroonilised omadused on ajas ja temperatuuril väga stabiilsed, mis tagab toodete kõrge töökindluse. Ränikarbiid on äärmiselt vastupidav kõvale kiirgusele, mis ei halvenda kiibi elektroonilisi omadusi. Kristalli kõrge töötemperatuuri piir (üle 6000 °C) võimaldab luua väga töökindlaid seadmeid karmide töötingimuste ja erirakenduste jaoks. Praegu suudame pidevalt ja väikeseeriatena tarnida 200 mm SiC-plaate ning omada laos teatud varusid.

Spetsifikatsioon

Number Ese Ühik Tootmine Uuringud Mannekeen
1. Parameetrid
1.1 polütüüp -- 4H 4H 4H
1.2 pinna orientatsioon ° <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5
2. Elektriline parameeter
2.1 dopant -- n-tüüpi lämmastik n-tüüpi lämmastik n-tüüpi lämmastik
2.2 eritakistus oom · cm 0,015–0,025 0,01–0,03 NA
3. Mehaaniline parameeter
3.1 läbimõõt mm 200±0,2 200±0,2 200±0,2
3.2 paksus μm 500±25 500±25 500±25
3.3 Sälgu orientatsioon ° [1–100]±5 [1–100]±5 [1–100]±5
3.4 Sälgu sügavus mm 1–1,5 1–1,5 1–1,5
3.5 Eluaegne väärtus μm ≤5 (10 mm * 10 mm) ≤5 (10 mm * 10 mm) ≤10 (10 mm * 10 mm)
3.6 TTV μm ≤10 ≤10 ≤15
3.7 Vibu μm -25~25 -45~45 -65~65
3.8 Lõime μm ≤30 ≤50 ≤70
3.9 AFM nm Ra≤0,2 Ra≤0,2 Ra≤0,2
4. Struktuur
4.1 mikrotoru tihedus tk/cm2 ≤2 ≤10 ≤50
4.2 metallisisaldus aatomit/cm2 ≤1E11 ≤1E11 NA
4.3 TSD tk/cm2 ≤500 ≤1000 NA
4.4 Piiratud piiriga isiksusehäire tk/cm2 ≤2000 ≤5000 NA
4.5 TED tk/cm2 ≤7000 ≤10000 NA
5. Positiivne kvaliteet
5.1 esiosa -- Si Si Si
5.2 pinnaviimistlus -- Si-pinnaga CMP Si-pinnaga CMP Si-pinnaga CMP
5.3 osake ea/vahvel ≤100 (suurus ≥0,3 μm) NA NA
5.4 kriimustus ea/vahvel ≤5, kogupikkus ≤200 mm NA NA
5.5 Äär
mõlgid/mõlgid/praod/plekid/saastumine
-- Puudub Puudub NA
5.6 Polüütüübi piirkonnad -- Puudub Pindala ≤10% Pindala ≤30%
5.7 esimärgistus -- Puudub Puudub Puudub
6. Selja kvaliteet
6.1 tagumine viimistlus -- C-kujuline MP C-kujuline MP C-kujuline MP
6.2 kriimustus mm NA NA NA
6.3 Tagumiste defektide serv
mõlgid/mõlgid
-- Puudub Puudub NA
6.4 Selja karedus nm Ra≤5 Ra≤5 Ra≤5
6.5 Tagumine märgistus -- Sälk Sälk Sälk
7. Äär
7.1 serv -- Kaldumine Kaldumine Kaldumine
8. Pakett
8.1 pakend -- Epi-valmis vaakumiga
pakend
Epi-valmis vaakumiga
pakend
Epi-valmis vaakumiga
pakend
8.2 pakend -- Mitme vahvliga
kasseti pakend
Mitme vahvliga
kasseti pakend
Mitme vahvliga
kasseti pakend

Detailne diagramm

8-tolline SiC03
8-tolline SiC4
8-tolline SiC5
8-tolline SiC6

  • Eelmine:
  • Järgmine:

  • Kirjuta oma sõnum siia ja saada see meile