6-tolline N-tüüpi või P-tüüpi silikoonvahvel CZ Si vahvel
Vahvlikarbi tutvustus
Räniplaadi spetsifikatsioonid:
6-tolline ränivahvli kasv: CZ, MCZ, FZ.
6 ränivahvli klass: Prime, Test, Dummy jne
6-tollise räniplaadi läbimõõt: 6 tolli/150 mm.
6-tolline ränivahvli paksus: 200–3000 um.
6-tolline silikoonvahvli viimistlus: lõigatud, lapitud, söövitatud, SSP, DSP jne.
6-tollise räniplaadi suund: (100) (111) (110) (531) (553) jne.
6-tolline silikoonvahvel väljalõige: kuni 4 kraadi.
6-tollise ränivahvli tüüp / lisand: P/B, N/Phos, N/As, N/Sb, sisemine.
6-tolline räniplaat Takistus: CZ/MCZ: 0,001 kuni 1000 oomi-cm. FZ: kuni 20k ohm-cm.
6-tolline ränivahv Õhukesed kiled: (a) PVD: Al, Cu, Au, Cr, Si, Ni;, Fe, Mo. jne, katte paksus kuni 20 000 A/5%.
(b) LPCVD/PECVD: oksiid, nitriid, ränidioksiid jne , Katte paksus kuni 200 000 A/3%.
c) Ränist epitaksiaalplaadid ja epitaksiaalteenused (SOS, GaN, GOI jne).
6-tollise räniplaadi protsessid: a.DSP, üliõhuke, ülimalt tasane jne.
b. suuruse vähendamine, tagasi lihvimine, kuubikuteks lõikamine jne. c. MEMS.
Alates 2010. aastast on Shanghai XKH Material Tech. Co., Ltd on pühendunud pakkuma klientidele kõikehõlmavaid 4-tolliste vahvlitega silicon Wafer lahendusi, alates silumistaseme vahvlitest Dummy Wafer, testtaseme vahvlitest Test Waferist kuni tootetaseme vahvliteni Prime Wafer, aga ka spetsiaalsete vahvlite, oksiidvahvlite Oxide, Nitriidvahvlid Si3N4, alumiiniumiga kaetud vahvlid, vasega kaetud ränivahvlid, SOI vahvlid, MEMS Klaasist, kohandatud ülipaksud ja ülitasapinnalised vahvlid jne suurustega 50–300 mm ning pakume pooljuhtvahvleid ühepoolse/kahepoolse poleerimise, harvendamise, kuubikuteks lõikamise, MEMS-i ja muude töötlemis- ja kohandamisteenustega. .