6-tolline N-tüüpi või P-tüüpi ränivahvel CZ Si vahvel
Vahvlikarbi tutvustamine
Ränivahvli spetsifikatsioonid:
6-tollise ränivahvli kasv: CZ, MCZ, FZ.
6 ränivahvli klass: Prime, Test, Dummy jne
6-tollise räniplaadi läbimõõt: 6 tolli / 150 mm.
6-tollise räniplaadi paksus: 200–3000 μm.
6-tolline ränivahvli viimistlus: lõigatud, lapitud, söövitatud, SSP, DSP jne.
6-tollise räniplaadi orientatsioon: (100) (111) (110) (531) (553) jne.
6-tolline ränivahvli kaldenurk: kuni 4 kraadi.
6-tolline ränivahvli tüüp/lisand: P/B, N/Phos, N/As, N/Sb, sisemine。
6-tollise räniplaadi eritakistus: CZ/MCZ: 0,001 kuni 1000 oomi/cm. FZ: kuni 20 kilooomi/cm.
6-tolline ränivahvel. Õhukesed kiled: (a) PVD: Al, Cu, Au, Cr, Si, Ni;, Fe, Mo jne., katte paksus kuni 20 000A/5%.
(b) LPCVD/PECVD: oksiid, nitriid, siC jne, katte paksus kuni 200 000 A/3%.
(c) Räni epitaksiaalvahvlid ja epitaksiaaltarvikud (SOS, GaN, GOI jne).
6-tollise räni vahvli protsessid: a.DSP, üliõhuke, ülilame jne.
b.Mõõtme vähendamine, tagurpidi lihvimine, tükeldamine jne. c. MEMS.
Alates 2010. aastast on Shanghai XKH Material Tech. Co., Ltd pühendunud pakkuma klientidele laiaulatuslikke 4-tolliste vahvlite ränivahvlite lahendusi, alates silumistaseme vahvlitest Dummy Wafer, testtaseme vahvlitest Test Wafer kuni tootetaseme vahvliteni Prime Wafer, aga ka spetsiaalsete vahvlite, oksiidvahvlite, nitriidvahvlite Si3N4, alumiiniumkattega vahvlite, vaskattega ränivahvlite, SOI vahvlite, MEMS-klaasist vahvlite, kohandatud ülipaksude ja ülilamedate vahvlite jms-ni, suurustega 50–300 mm, ning pakume pooljuhtvahvleid ühe-/kahepoolse poleerimise, õhendamise, tükeldamise, MEMS-i ja muude töötlemis- ja kohandamisteenustega.
Detailne diagramm


