50,8 mm 2-tolline GaN safiir-epikihi vahvlil
Galliumnitriidi GaN epitaksiaallehe pealekandmine
Galliumnitriidi toimivuse põhjal sobivad galliumnitriidi epitaksiaalsed kiibid peamiselt suure võimsuse, kõrgsageduse ja madalpinge rakenduste jaoks.
See kajastub järgmises:
1) Suur keelutsoon: Suur keelutsoon parandab galliumnitriidil põhinevate seadmete pingetaset ja suudab väljastada suuremat võimsust kui galliumarseniidil põhinevad seadmed, mis sobib eriti hästi 5G side baasjaamadele, sõjaväe radaritele ja muudele väljadele;
2) Kõrge muundamise efektiivsus: galliumnitriidil põhinevate lülitusjõuelektroonikaseadmete sisselülitustakistus on 3 suurusjärku madalam kui räniseadmetel, mis võib oluliselt vähendada sisselülituskadusid;
3) Kõrge soojusjuhtivus: galliumnitriidi kõrge soojusjuhtivus tagab suurepärase soojuseralduse, mis sobib suure võimsusega, kõrge temperatuuri ja muude seadmete tootmiseks;
4) Läbilöögi elektrivälja tugevus: Kuigi galliumnitriidi läbilöögi elektrivälja tugevus on lähedane räninitriidi omale, on galliumnitriidi seadmete pingetaluvus pooljuhtprotsessi, materjali võre mittevastavuse ja muude tegurite tõttu tavaliselt umbes 1000 V ja ohutu kasutamise pinge on tavaliselt alla 650 V.
| Ese | GaN-TCU-C50 | GaN-TCN-C50 | GaN-TCP-C50 |
| Mõõtmed | e 50,8 mm ± 0,1 mm | ||
| Paksus | 4,5 ± 0,5 µm | 4,5 ± 0,5 μm | |
| Orientatsioon | C-tasand (0001) ±0,5° | ||
| Juhtivuse tüüp | N-tüüpi (legeerimata) | N-tüüpi (Si-legeeritud) | P-tüüpi (Mg-dopeeritud) |
| Eritakistus (300K) | < 0,5 Q·cm | < 0,05 Q·cm | ~ 10 Q・cm |
| Vedaja kontsentratsioon | < 5x1017cm-3 | > 1x1018cm-3 | > 6x1016 cm-3 |
| Liikuvus | ~300 cm2/Vs | ~200 cm2/Vs | ~10 cm2/Vs |
| Dislokatsiooni tihedus | Vähem kui 5x108cm-2(arvutatud XRD FWHM-ide abil) | ||
| Aluspinna struktuur | GaN safiirplaadil (standard: SSP valik: DSP) | ||
| Kasulik pindala | > 90% | ||
| Pakett | Pakendatud 100. klassi puhasruumi keskkonnas, 25 tk kassettides või üksikute vahvlitega konteinerites, lämmastikuatmosfääris. | ||
* Muud paksust saab kohandada
Detailne diagramm
