4-tolline 6-tolline liitiumniobaat monokristallkilega LNOI vahvel
LNOI materjalide ettevalmistusprotsess jaguneb peamiselt neljaks järgmiseks etapiks
(1) He-ioonid süstiti X-lõigatud liitiumniobaadi materjali teatud energiaga ja viidi defektikihti teatud sügavusel liitiumniobaadi pinnakihi all;
(2) Ioonidega siirdatud liitiumniobaatmaterjal seotakse oksiidkihiga ränisubstraadiga, et moodustada sidestruktuur;
(3) Sidestruktuuri lõõmutati, et He-ioonide implanteerimisel tekkinud defektid areneksid ja agregeeruksid, moodustades pragusid. Lõpuks eraldati liitiumniobaat mööda defektikihti, et moodustada liitiumniobaadi jääkviilud ja LNOI vahvlid.
LNOI vahvli rakendused ja eelised
1 - Liitiumniobaatpiesoelektrilistel kiledel (LNOI) on kõrge piesoelektriline koefitsient ja dielektriline konstant, mis võivad muuta mehaanilise energia elektrienergiaks või elektrienergia mehaaniliseks energiaks. Seetõttu kasutatakse seda laialdaselt andurite valdkonnas, nagu rõhuandurid, kiirendusandurid, temperatuuriandurid ja nii edasi. Lisaks saab liitiumniobaadi piesoelektrilist kilet kasutada ka akustilistes seadmetes ja vibratsiooniseadmetes, nagu piesoelektrilise keraamilise anduri kompleksi piesoelektriline keraamiline filter.
2-Liitiumniobaatpiesoelektrilise kile stabiilsus on samuti üks selle eeliseid. Tänu oma kristallstruktuuri stabiilsusele ja keemilisele inertsusele võib liitiumniobaadi piesoelektriline kile töötada kõrgel temperatuuril, kõrge niiskuse, tugeva happe, tugeva leelise ja muus karmis keskkonnas, millel on hea korrosioonikindlus ja vastupidavus.
3-liitiumniobaadi piesoelektriline kile on uus piesoelektriline materjal, millel on suurepärane jõudlus ja stabiilsus ning millel on lai kasutusvõimalus. Teaduse ja tehnoloogia pideva arenguga rakendatakse liitiumniobaadi piesoelektrilist kilet rohkemates linnades, mis toob inimeste ellu rohkem mugavust ja uuendusi.
Üksikasjalik diagramm
