4H/6H-P 6-tolline SiC vahvel Zero MPD kvaliteediklassi tootmisklass näiv klass
4H/6H-P tüüpi SiC komposiitpõhimikud Ühine parameetritabel
6 tolli läbimõõduga ränikarbiidist (SiC) substraat Spetsifikatsioon
Hinne | Null MPD tootmistHinne (Z Hinne) | StandardtoodangHinne (P Hinne) | Näiv hinne (D Hinne) | ||
Läbimõõt | 145,5 mm ~ 150,0 mm | ||||
Paksus | 350 μm ± 25 μm | ||||
Vahvlite orientatsioon | -Offtelg: 2,0°–4,0° suunas [1120] ± 0,5° 4H/6H-P puhul, teljel: 〈111〉± 0,5° 3C-N puhul | ||||
Mikrotoru tihedus | 0 cm-2 | ||||
Vastupidavus | p-tüüpi 4H/6H-P | ≤0,1 Ωꞏcm | ≤0,3 Ωꞏcm | ||
n-tüüpi 3C-N | ≤0,8 mΩꞏcm | ≤1 m Ωꞏcm | |||
Esmane tasapinnaline orientatsioon | 4H/6H-P | -{1010} ± 5,0° | |||
3C-N | -{110} ± 5,0° | ||||
Esmane tasapinnaline pikkus | 32,5 mm ± 2,0 mm | ||||
Sekundaarne tasane pikkus | 18,0 mm ± 2,0 mm | ||||
Sekundaarne tasapinnaline orientatsioon | Silikoon esikülg ülespoole: 90° CW. alates Prime flat ± 5,0° | ||||
Serva välistamine | 3 mm | 6 mm | |||
LTV/TTV/vibu/lõime | ≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
Karedus | Poola Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0,2 nm | Ra ≤ 0,5 nm | ||||
Äärmiselt praod kõrge intensiivsusega valgusega | Mitte ühtegi | Kumulatiivne pikkus ≤ 10 mm, üksik pikkus ≤ 2 mm | |||
Kuuskuusplaadid suure intensiivsusega valgusega | Kumulatiivne pindala ≤0,05% | Kumulatiivne pindala ≤0,1% | |||
Polütüüpsed alad kõrge intensiivsusega valgusega | Mitte ühtegi | Kumulatiivne pindala≤3% | |||
Visuaalsed süsiniku lisad | Kumulatiivne pindala ≤0,05% | Kumulatiivne pindala ≤3% | |||
Suure intensiivsusega valguse tekitatud ränipinna kriimustused | Mitte ühtegi | Kumulatiivne pikkus ≤1 × vahvli läbimõõt | |||
Valguse intensiivsusega kõrged servad | Mitte ükski lubatud ≥0,2 mm laius ja sügavus | Lubatud 5, igaüks ≤1 mm | |||
Suure intensiivsusega räni pinna saastumine | Mitte ühtegi | ||||
Pakendamine | Mitme vahvli kassett või ühe vahvli konteiner |
Märkused:
※ Defektide piirangud kehtivad kogu vahvli pinnale, välja arvatud servade välistamisala. # Si face o kriimustusi tuleks kontrollida
4H/6H-P tüüpi 6-tollist SiC vahvlit null-MPD klassi ja tootmis- või näivklassiga kasutatakse laialdaselt täiustatud elektroonilistes rakendustes. Selle suurepärane soojusjuhtivus, kõrge läbilöögipinge ja vastupidavus karmidele keskkondadele muudavad selle ideaalseks jõuelektroonika jaoks, nagu kõrgepingelülitid ja inverterid. Zero MPD klass tagab minimaalsete defektide esinemise, mis on kõrge töökindlusega seadmete jaoks ülioluline. Tootmiskvaliteediga vahvleid kasutatakse jõuseadmete ja raadiosageduslike rakenduste suuremahulises tootmises, kus jõudlus ja täpsus on üliolulised. Teisest küljest kasutatakse näivvahvleid protsesside kalibreerimiseks, seadmete testimiseks ja prototüüpimiseks, mis võimaldab pooljuhtide tootmiskeskkondades järjepidevat kvaliteedikontrolli.
N-tüüpi SiC komposiitpõhiste eeliste hulka kuuluvad
- Kõrge soojusjuhtivus: 4H/6H-P SiC vahvel hajutab tõhusalt soojust, muutes selle sobivaks kõrge temperatuuriga ja suure võimsusega elektrooniliste rakenduste jaoks.
- Kõrge läbilöögipinge: Selle võime taluda kõrgeid pingeid tõrgeteta muudab selle ideaalseks jõuelektroonika ja kõrgepinge lülitusrakenduste jaoks.
- Null MPD (mikrotoru defekti) klass: Minimaalne defektide tihedus tagab suurema töökindluse ja jõudluse, mis on nõudlike elektroonikaseadmete jaoks kriitiline.
- Tootmisaste masstootmise jaoks: sobib kõrge jõudlusega pooljuhtseadmete suuremahuliseks tootmiseks rangete kvaliteedistandarditega.
- Testimiseks ja kalibreerimiseks mõeldud näiv: Võimaldab protsesside optimeerimist, seadmete testimist ja prototüüpide loomist ilma kulukaid tootmisklassi vahvleid kasutamata.
Üldiselt pakuvad 4H/6H-P 6-tollised SiC vahvlid null-MPD klassi, tootmisklassi ja näivklassiga olulisi eeliseid suure jõudlusega elektroonikaseadmete väljatöötamisel. Need vahvlid on eriti kasulikud rakendustes, mis nõuavad kõrgel temperatuuril töötamist, suurt võimsustihedust ja tõhusat võimsuse muundamist. Zero MPD klass tagab minimaalsed defektid seadme usaldusväärse ja stabiilse jõudluse tagamiseks, samas kui tootmisklassi vahvlid toetavad suuremahulist tootmist range kvaliteedikontrolliga. Dummy-kvaliteediga vahvlid pakuvad kulutõhusat lahendust protsesside optimeerimiseks ja seadmete kalibreerimiseks, muutes need ülitäpse pooljuhtide valmistamise jaoks hädavajalikuks.