156 mm 159 mm 6-tolline safiirplaat C-tasandi DSP TTV kandurile
Spetsifikatsioon
Ese | 6-tollised C-tasandilised (0001) safiirplaadid | |
Kristallmaterjalid | 99,999%, kõrge puhtusastmega, monokristalliline Al2O3 | |
Hinne | Prime, Epi-Ready | |
Pinna orientatsioon | C-tasand (0001) | |
C-tasandi nurk M-telje suhtes 0,2 +/- 0,1° | ||
Läbimõõt | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
Paksus | 650 μm +/- 25 μm | |
Esmane tasane orientatsioon | C-tasand (00-01) +/- 0,2° | |
Ühepoolne poleeritud | Esipind | Epipoleeritud, Ra < 0,2 nm (AFM-i järgi) |
(Ühisteenuste osutaja) | Tagumine pind | Peenlihvimine, Ra = 0,8 μm kuni 1,2 μm |
Kahepoolne poleeritud | Esipind | Epipoleeritud, Ra < 0,2 nm (AFM-i järgi) |
(DSP) | Tagumine pind | Epipoleeritud, Ra < 0,2 nm (AFM-i järgi) |
TTV | < 20 μm | |
VIBU | < 20 μm | |
WARP | < 20 μm | |
Puhastamine / Pakendamine | 100. klassi puhasruumide puhastus ja vaakumpakend, | |
25 tükki ühes kassettpakendis või üksikpakendis. |
Kylopoulose meetodit (KY-meetodit) kasutavad praegu paljud Hiina ettevõtted elektroonika- ja optikatööstuses kasutatavate safiirkristallide tootmiseks.
Selle protsessi käigus sulatatakse ülipuhast alumiiniumoksiidi tiiglis temperatuuril üle 2100 kraadi Celsiuse järgi. Tavaliselt on tiigel valmistatud volframist või molübdeenist. Täpselt orienteeritud seemnekristall kastetakse sula alumiiniumoksiidi sisse. Seemnekristalli tõmmatakse aeglaselt ülespoole ja seda võib samaaegselt pöörata. Temperatuurigradiendi, tõmbamiskiiruse ja jahutuskiiruse täpse juhtimise abil saab sulamist toota suure, monokristallilise, peaaegu silindrilise valuploki.
Pärast monokristalliliste safiirvaluplokkide kasvatamist puuritakse need silindrilisteks varrasteks, mis seejärel lõigatakse soovitud akna paksuseni ja poleeritakse lõpuks soovitud pinnaviimistluseni.
Detailne diagramm


