156 mm 159 mm 6-tolline Sapphire Wafer kandurile C-Plane DSP TTV

Lühikirjeldus:

Läbimõõduga 156 mm/159 mm, 6-tollised Al2O3 kahepoolsed poleeritud (DSP) safiirvahvlid, mille TTV on alla 3 mikroni kandeplaatide jaoks. Täiendavad 8" / 6" / 5" / 2" / 3" / 4" / 5" C-telg, A-telg, R-telg, M-telg vahvlid. C-tasapinnalised safiirvahvlid läbimõõduga kuni 6 tolli (6 tolli/6 tolli), ühepoolse poleeritud (SSP) või kahepoolse poleeritud (DSP) pinnaga ja paksusega 650 mikronit või 1000 mikronit.

Saada meile e-kiri

Toote üksikasjad

Tootesildid

Spetsifikatsioon

Üksus	6-tollised C-lennukid (0001) Sapphire vahvlid
Kristallmaterjalid	99 999%, kõrge puhtusastmega, monokristalliline Al2O3
Hinne	Prime, Epi-valmis
Pinna orientatsioon	C-tasand (0001)
	C-tasandi kaldenurk M-telje suhtes 0,2 +/- 0,1°
Läbimõõt	100,0 mm +/- 0,1 mm
Paksus	650 μm +/- 25 μm
Esmane tasapinnaline orientatsioon	C-tasand(00-01) +/- 0,2°
Ühepoolne poleeritud	Esipind	Epipoleeritud, Ra < 0,2 nm (AFM järgi)
(SSP)	Tagumine pind	Peenlihvimine, Ra = 0,8 μm kuni 1,2 μm
Kahepoolne poleeritud	Esipind	Epipoleeritud, Ra < 0,2 nm (AFM järgi)
(DSP)	Tagumine pind	Epipoleeritud, Ra < 0,2 nm (AFM järgi)
TTV	< 20 μm
VIBU	< 20 μm
VÄIDUMINE	< 20 μm
Puhastamine / pakendamine	Klass 100 puhaste ruumide puhastus ja vaakumpakendamine,
	25 tk ühes kassettpakendis või üheosalises pakendis.

Kylopoulose meetodit (KY meetodit) kasutavad praegu paljud Hiina ettevõtted safiirkristallide tootmiseks elektroonika- ja optikatööstuses kasutamiseks.

Selle protsessi käigus sulatatakse kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiid tiiglis temperatuuril üle 2100 kraadi Celsiuse järgi. Tavaliselt on tiigel valmistatud volframist või molübdeenist. Täpselt orienteeritud seemnekristall on sukeldatud sula alumiiniumoksiidi sisse. Seemnekristalli tõmmatakse aeglaselt ülespoole ja seda saab samaaegselt pöörata. Temperatuurigradienti, tõmbekiirust ja jahutuskiirust täpselt reguleerides saab sulatisest valmistada suure ühekristallilise, peaaegu silindrikujulise valuploki.

Pärast monokristalli safiirkankide kasvatamist puuritakse need silindrilisteks vardadeks, mis seejärel lõigatakse soovitud akna paksuseni ja lõpuks poleeritakse soovitud pinnaviimistluseni.