150 mm 200 mm 6-tolline 8-tolline GaN ränil Epi-kihiga vahvel Galliumnitriidi epitaksiaalne vahvel
Tootmismeetod
Tootmisprotsess hõlmab GaN-kihtide kasvatamist safiiraluspinnale, kasutades täiustatud tehnikaid, nagu metallorgaaniline keemiline aurustamine (MOCVD) või molekulaarkiirepitaksia (MBE). Sadestamisprotsess viiakse läbi kontrollitud tingimustes, et tagada kõrge kristallide kvaliteet ja ühtlane kile.
6-tollised GaN-On-Sapphire'i rakendused: 6-tolliseid safiirsubstraadi kiipe kasutatakse laialdaselt mikrolaineahjus, radarsüsteemides, traadita tehnoloogias ja optoelektroonikas.
Mõned levinud rakendused hõlmavad järgmist
1. Rf-võimendi
2. LED-valgustite tööstus
3. Traadita võrguside seadmed
4. Elektroonikaseadmed kõrge temperatuuriga keskkonnas
5. Optoelektroonilised seadmed
Toote spetsifikatsioonid
- Suurus: Aluspinna läbimõõt on 6 tolli (umbes 150 mm).
- Pinna kvaliteet: Pind on peenelt poleeritud, et tagada suurepärane peeglikvaliteet.
- Paksus: GaN-kihi paksust saab vastavalt konkreetsetele nõuetele kohandada.
- Pakend: Aluspind on hoolikalt pakitud antistaatiliste materjalidega, et vältida transportimise ajal tekkivaid kahjustusi.
- Positsioneerimisservad: Aluspinnal on spetsiifilised positsioneerimisservad, mis hõlbustavad seadme ettevalmistamise ajal joondamist ja kasutamist.
- Muud parameetrid: Spetsiifilisi parameetreid, nagu õhuke kiht, takistus ja dopeerimiskontsentratsioon, saab vastavalt kliendi vajadustele reguleerida.
Oma suurepäraste materjaliomaduste ja mitmekesiste rakenduste tõttu on 6-tollised safiirsubstraadist vahvlid usaldusväärne valik kõrgjõudlusega pooljuhtseadmete arendamiseks erinevates tööstusharudes.
| Aluspind | 6” 1 mm <111> p-tüüpi Si | 6” 1 mm <111> p-tüüpi Si |
| Epi paksuskeskmine | ~5 µm | ~7 µm |
| Epi ThickUnif | <2% | <2% |
| Vibu | +/-45 µm | +/-45 µm |
| Pragunemine | <5 mm | <5 mm |
| Vertikaalne BV | >1000 V | >1400 V |
| HEMT Al% | 25–35% | 25–35% |
| HEMT paksuse keskmine | 20–30 nm | 20–30 nm |
| Insitu SiN kork | 5–60 nm | 5–60 nm |
| 2DEG konts. | ~1013cm-2 | ~1013cm-2 |
| Liikuvus | ~2000 cm2/Vs (<2%) | ~2000 cm2/Vs (<2%) |
| Rsh | <330 oomi/ruutjalga (<2%) | <330 oomi/ruutjalga (<2%) |
Detailne diagramm
