150 mm 200 mm 6-tolline 8-tolline GaN räni epitaksikihil galliumnitriidi epitaksiaalvahvlil
Tootmismeetod
Tootmisprotsess hõlmab GaN-kihtide kasvatamist safiir-substraadil, kasutades täiustatud tehnikaid, nagu metallorgaaniline keemiline aurustamine-sadestamine (MOCVD) või molekulaarkiirepitaksia (MBE). Sadestamisprotsess viiakse läbi kontrollitud tingimustes, et tagada kõrge kristallide kvaliteet ja ühtlane kile.
6-tollised GaN-On-Sapphire rakendused: 6-tollisi safiirist substraatkiipe kasutatakse laialdaselt mikrolainesides, radarisüsteemides, traadita tehnoloogias ja optoelektroonikas.
Mõned levinumad rakendused hõlmavad
1. Rf võimsusvõimendi
2. LED-valgustite tööstus
3. Traadita võrgu sideseadmed
4. Elektroonilised seadmed kõrge temperatuuriga keskkonnas
5. Optoelektroonilised seadmed
Toote spetsifikatsioonid
- Suurus: substraadi läbimõõt on 6 tolli (umbes 150 mm).
- Pinnakvaliteet: pind on peenelt poleeritud, et tagada suurepärane peegli kvaliteet.
- Paksus: GaN kihi paksust saab kohandada vastavalt konkreetsetele nõuetele.
- Pakend: aluspind on hoolikalt pakitud antistaatiliste materjalidega, et vältida transportimise ajal kahjustusi.
- Positsioneerimisservad: aluspinnal on spetsiifilised positsioneerimisservad, mis hõlbustavad seadme ettevalmistamise ajal joondamist ja kasutamist.
- Muud parameetrid: spetsiifilisi parameetreid, nagu õhukus, takistus ja dopingu kontsentratsioon, saab kohandada vastavalt kliendi nõudmistele.
Oma suurepäraste materjaliomaduste ja mitmekesiste rakendustega on 6-tollised safiirsubstraatplaadid usaldusväärne valik suure jõudlusega pooljuhtseadmete arendamiseks erinevates tööstusharudes.
Substraat | 6” 1mm <111> p-tüüpi Si | 6” 1mm <111> p-tüüpi Si |
Epi paksuskeskm | ~5um | ~7um |
Epi ThickUnif | <2% | <2% |
Vibu | +/-45 um | +/-45 um |
Pragunemine | <5 mm | <5 mm |
Vertikaalne BV | >1000V | >1400V |
HEMT Al% | 25-35% | 25-35% |
HEMT paksuskeskm | 20-30nm | 20-30nm |
Insitu SiN Cap | 5-60 nm | 5-60 nm |
2DEG konts. | ~1013cm-2 | ~1013cm-2 |
Liikuvus | ~2000cm2/Vs (<2%) | ~2000cm2/Vs (<2%) |
Rsh | <330 oomi/sq (<2%) | <330 oomi/sq (<2%) |