8-tolline ränivahvli P/N-tüüpi (100) 1-100Ω mannekeen-taaskasutatud aluspind
Vahvlikarbi tutvustamine
8-tolline ränivahvel on tavaliselt kasutatav ränisubstraadi materjal ja seda kasutatakse laialdaselt integraallülituste tootmisprotsessis. Selliseid ränivahve kasutatakse tavaliselt erinevat tüüpi integraallülituste, sealhulgas mikroprotsessorite, mälukiipide, andurite ja muude elektroonikaseadmete valmistamiseks. 8-tolliseid ränivahve kasutatakse tavaliselt suhteliselt suurte kiipide valmistamiseks, mille eeliste hulka kuuluvad suurem pindala ja võimalus toota ühele ränivahvelile rohkem kiipe, mis suurendab tootmise efektiivsust. 8-tollisel ränivahvel on ka head mehaanilised ja keemilised omadused, mis sobivad suuremahuliseks integraallülituste tootmiseks.
Toote omadused
8" P/N tüüpi, poleeritud räniplaat (25 tk)
Orientatsioon: 200
Eritakistus: 0,1–40 oomi cm (võib partiide lõikes erineda)
Paksus: 725+/-20um
Prime/Monitor/Test Grade
MATERJALI OMADUSED
| Parameeter | Iseloomulik |
| Tüüp/lisand | P, boor N, fosfor N, antimon N, arseen |
| Orientatsioonid | <100>, <111> lõika orientatsioonid vastavalt kliendi spetsifikatsioonidele |
| Hapnikusisaldus | 1019ppmA Kohandatud tolerantsid vastavalt kliendi spetsifikatsioonile |
| Süsinikusisaldus | < 0,6 ppmA |
MEHAANILISED OMADUSED
| Parameeter | Peaminister | Monitor/Test A | Test |
| Läbimõõt | 200 ± 0,2 mm | 200 ± 0,2 mm | 200 ± 0,5 mm |
| Paksus | 725±20µm (standardne) | 725±25µm (standardne) 450±25µm 625±25µm 1000±25µm 1300±25µm 1500±25 µm | 725±50µm (standardne) |
| TTV | < 5 µm | < 10 µm | < 15 µm |
| Vibu | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
| Mähi | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
| Servade ümardamine | POOLSED STADID | ||
| Märgistamine | Ainult esmane poolkorter, poolkorterid Jeida korter, Notch | ||
| Parameeter | Peaminister | Monitor/Test A | Test |
| Esikülje kriteeriumid | |||
| Pinna seisukord | Keemiline mehaaniline poleeritud | Keemiline mehaaniline poleeritud | Keemiline mehaaniline poleeritud |
| Pinna karedus | < 2 Å | < 2 Å | < 2 Å |
| Saastumine Osakesed @ >0,3 µm | = 20 | = 20 | = 30 |
| Hägu, augud Apelsinikoor | Puudub | Puudub | Puudub |
| Saag, märgid Triibud | Puudub | Puudub | Puudub |
| Tagakülje kriteeriumid | |||
| Praod, varesevarbad, saejäljed, plekid | Puudub | Puudub | Puudub |
| Pinna seisukord | Kaustiliselt söövitatud | ||
Detailne diagramm





