Mida tähendavad vahvlites TTV, BOW, WARP ja TIR?

Pooljuhtivate räniplaatide või muudest materjalidest aluspindade uurimisel puutume sageli kokku selliste tehniliste näitajatega nagu: TTV, BOW, WARP ja võimalik, et ka TIR, STIR, LTV. Milliseid parameetreid need esindavad?

TTV – kogupaksuse variatsioon
VIBU — Vibu
WARP — Warp
TIR-i tähendus inglise keeles
STIR – saidi kogunäidud
LTV – Kohalik paksuse varieerumine

1. Paksuse koguvariatsioon — TTV

Vahvli maksimaalse ja minimaalse paksuse vahe võrdlustasandi suhtes, kui vahvel on kinnitatud ja tihedalt kokku puutunud. Seda väljendatakse tavaliselt mikromeetrites (μm), sageli esitatakse kujul: ≤15 μm.

2. Vibu — VIBU

Kiibi pinna keskpunkti ja võrdlustasandi vahelise minimaalse ja maksimaalse kauguse hälve, kui kiip on vabas (kinnitamata) olekus. See hõlmab nii nõgusaid (negatiivse kaarega) kui ka kumeraid (positiivse kaarega) juhtumeid. Tavaliselt väljendatakse seda mikromeetrites (μm), sageli kujutatakse seda järgmiselt: ≤40 μm.

3. Warp — WARP

Väikseima ja maksimaalse kauguse hälve vahvli pinna ja võrdlustasandi (tavaliselt vahvli tagumise pinna) vahel, kui vahvel on vabas (kinnitamata) olekus. See hõlmab nii nõgusaid (negatiivne deformatsioon) kui ka kumeraid (positiivne deformatsioon) juhtumeid. Seda väljendatakse üldiselt mikromeetrites (μm), sageli kujutatakse kujul: ≤30 μm.

4. Kogunäit – TIR

Kui vahvel on kinnitatud ja tihedas kontaktis, kasutades võrdlustasandit, mis minimeerib kõigi kvaliteedipiirkonnas või vahvli pinna kindlaksmääratud lokaalses piirkonnas asuvate punktide lõikepunktide summa, on TIR hälve vahvli pinna ja selle võrdlustasandi vahelise maksimaalse ja minimaalse kauguse vahel.

XKH, mis põhineb pooljuhtmaterjalide spetsifikatsioonide (nt TTV, BOW, WARP ja TIR) põhjalikel teadmistel, pakub rangetele tööstusstandarditele vastavaid täppis-kohandatud kiipide töötlemise teenuseid. Pakume ja toetame laia valikut kõrgjõudlusega materjale, sealhulgas safiir, ränikarbiid (SiC), ränikiivid, SOI ja kvarts, tagades erakordse tasasuse, paksuse järjepidevuse ja pinnakvaliteedi optoelektroonika, jõuseadmete ja MEMS-i täiustatud rakenduste jaoks. Usaldage meid, et pakume usaldusväärseid materjalilahendusi ja täppistöötlust, mis vastavad teie kõige nõudlikumatele disaininõuetele.