Pooljuhtide tehnoloogia pideva arenguga on pooljuhtide tööstuses ja isegi fotogalvaanikatööstuses ka vahvli aluspinna või epitaksiaallehe pinnakvaliteedi nõuded väga ranged. Millised on vahvlite kvaliteedinõuded?safiirvahvelNäiteks, milliseid näitajaid saab kasutada vahvlite pinnakvaliteedi hindamiseks?
Millised on vahvlite hindamisnäitajad?
Kolm näitajat
Safiirplaatide puhul on hindamisnäitajad kogupaksuse hälve (TTV), painutus (Bow) ja deformatsioon (Warp). Need kolm parameetrit koos peegeldavad räniplaadi tasasust ja paksuse ühtlust ning saavad mõõta plaadi lainetuse astet. Lainetust saab kombineerida tasapinnaga, et hinnata plaadi pinna kvaliteeti.
Mis on TTV, BOW ja Warp?
TTV (kogupaksuse muutus)
TTV on vahvli maksimaalse ja minimaalse paksuse vahe. See parameeter on oluline indeks, mida kasutatakse vahvli paksuse ühtluse mõõtmiseks. Pooljuhtprotsessis peab vahvli paksus olema kogu pinnal väga ühtlane. Mõõtmised tehakse tavaliselt vahvli viies kohas ja vahe arvutatakse. Lõppkokkuvõttes on see väärtus oluline alus vahvli kvaliteedi hindamiseks.
Vibu
Pooljuhtide tootmises viitab "painutus" vahvli painutamisele, mis vabastab kinnituseta vahvli keskpunkti ja võrdlustasandi vahelise kauguse. Sõna pärineb tõenäoliselt painutatud objekti kuju kirjeldusest, näiteks kaare kõver kuju. Painutusväärtus defineeritakse ränivahvli keskpunkti ja serva vahelise hälbe mõõtmise teel. Seda väärtust väljendatakse tavaliselt mikromeetrites (µm).
Lõime
Warp on vahvlite globaalne omadus, mis mõõdab vabalt kinnitatud vahvli keskosa ja võrdlustasandi vahelise maksimaalse ja minimaalse kauguse erinevust. Tähistab ränivahvli pinna kaugust tasapinnast.
Mis vahe on TTV-l, vibul ja Warpil?
TTV keskendub paksuse muutustele ega tegele vahvli painutamise ega moonutamisega.
Vibu keskendub üldisele painutusele, arvestades peamiselt keskpunkti ja serva painutust.
Lõime on põhjalikum, hõlmates kogu vahvli pinna painutamist ja keeramist.
Kuigi need kolm parameetrit on seotud räniplaadi kuju ja geomeetriliste omadustega, mõõdetakse ja kirjeldatakse neid erinevalt ning nende mõju pooljuhtprotsessile ja plaadi töötlemisele on samuti erinev.
Mida väiksemad on kolm parameetrit, seda parem, ja mida suurem on parameeter, seda suurem on negatiivne mõju pooljuhtprotsessile. Seetõttu peame pooljuhtide spetsialistidena mõistma kiibi profiili parameetrite olulisust kogu protsessi jaoks ja pöörama tähelepanu detailidele pooljuhtprotsessis.
(tsenseerimine)
Postituse aeg: 24. juuni 2024