Pooljuhttehnoloogia pideva arenguga pooljuhtide tööstuses ja isegi fotogalvaanilises tööstuses on vahvli substraadi või epitaksiaalse lehe pinnakvaliteedi nõuded samuti väga ranged. Niisiis, millised on vahvlite kvaliteedinõuded? Võtminesafiir vahvels näiteks, milliste näitajatega saab vahvlite pinnakvaliteeti hinnata?
Millised on vahvlite hindamise näitajad?
Kolm indikaatorit
Safiirplaatide puhul on selle hindamisnäitajad paksuse koguhälve (TTV), painutus (Bow) ja Warp (Warp). Need kolm parameetrit koos peegeldavad räniplaadi tasasust ja paksuse ühtlust ning võivad mõõta vahvli lainetuse astet. Lainetust saab kombineerida tasapinnaga, et hinnata vahvli pinna kvaliteeti.
Mis on TTV, BOW, Warp?
TTV (kogu paksuse variatsioon)
TTV on vahvli maksimaalse ja minimaalse paksuse vahe. See parameeter on oluline näitaja, mida kasutatakse vahvli paksuse ühtluse mõõtmiseks. Pooljuhtprotsessis peab vahvli paksus olema kogu pinna ulatuses väga ühtlane. Mõõtmised tehakse tavaliselt vahvli viies kohas ja arvutatakse vahe välja. Lõppkokkuvõttes on see väärtus vahvli kvaliteedi hindamisel oluline alus.
Vibu
Kaar pooljuhtide tootmises viitab vahvli paindele, mis vabastab kauguse kinnitamata vahvli keskpunkti ja võrdlustasandi vahel. Tõenäoliselt pärineb see sõna eseme kuju kirjeldusest, kui see on painutatud, nagu vibu kumer kuju. Bow väärtus määratakse räniplaadi keskpunkti ja serva vahelise kõrvalekalde mõõtmisega. Seda väärtust väljendatakse tavaliselt mikromeetrites (µm).
lõime
Warp on vahvlite globaalne omadus, mis mõõdab maksimaalse ja minimaalse kauguse erinevust vabalt kinnitamata vahvli keskkoha ja võrdlustasandi vahel. Esindab kaugust ränivahvli pinnast tasapinnani.
Mis vahe on TTV, Bow ja Warp vahel?
TTV keskendub paksuse muutustele ega tegele vahvli painde või moonutamisega.
Bow keskendub üldisele kurvile, arvestades peamiselt keskpunkti ja serva painutust.
Lõime on põhjalikum, sealhulgas kogu vahvli pinna painutamine ja keeramine.
Kuigi need kolm parameetrit on seotud räniplaadi kuju ja geomeetriliste omadustega, mõõdetakse ja kirjeldatakse neid erinevalt ning nende mõju pooljuhtprotsessile ja vahvlite töötlemisele on samuti erinev.
Mida väiksemad on kolm parameetrit, seda parem ja mida suurem on parameeter, seda suurem on negatiivne mõju pooljuhtprotsessile. Seetõttu peame pooljuhtide praktikuna mõistma vahvliprofiili parameetrite tähtsust kogu protsessi protsessi jaoks, tegema pooljuhtprotsessi, pöörama tähelepanu detailidele.
(tsenseerimine)
Postitusaeg: 24. juuni 2024