Sisukord
1. FOUPi ülevaade ja põhifunktsioonid
2. FOUPi struktuur ja disainifunktsioonid
3. FOUPi klassifikatsioon ja rakendusjuhised
4. FOUP-i toimingud ja tähtsus pooljuhtide tootmises
5. Tehnilised väljakutsed ja tulevased arengusuunad
6. XKH kohandatud lahendused ja klienditugi
Pooljuhtide tootmisprotsessis on eest avatav ühendatud pod (FOUP) kriitilise tähtsusega konteiner, mida kasutatakse kiipide kaitsmiseks, transportimiseks ja ladustamiseks. Selle sisemusse mahub 25 tükki 300 mm kiipe ning selle peamised komponendid on eest avatav konteiner ja spetsiaalne ukseraam avamiseks ja sulgemiseks. FOUP on südamiku kandja 12-tolliste kiipide tehaste automatiseeritud transpordisüsteemis. Tavaliselt transporditakse seda suletud olekus ja see avaneb ainult siis, kui see seadme laadimispordile lükatakse, võimaldades kiipe seadme laadimis-/mahalaadimisporti üle kanda.
FOUP-i disain on kohandatud mikrokeskkonna nõuetele. Selle tagaosas on pilud vahvlite sisestamiseks ja kaas on spetsiaalselt loodud sobima avaja klambriga. Vahvlite käitlemise robotid töötavad 1. klassi puhta õhu keskkonnas, tagades, et vahvlid ei saastu edastamise ajal. Lisaks liigutatakse FOUP-i protsessitööriistade vahel automatiseeritud materjalikäitlussüsteemi (AMHS) abil. Kaasaegsed vahvlitehased kasutavad transpordiks enamasti rööbasteesüsteeme, samas kui mõned vanemad tehased võivad kasutada maapealseid automaatselt juhitavaid sõidukeid (AGV-sid).
FOUP mitte ainult ei võimalda automatiseeritud kiipide ülekannet, vaid täidab ka ladustamisfunktsiooni. Arvukate tootmisetappide tõttu võib kiipide kogu protsessivoo läbimine võtta kuid. Koos suurte igakuiste tootmismahtudega tähendab see, et tehases on kümneid tuhandeid kiipe pidevalt transpordil või ajutisel ladustamisel igal ajahetkel. Ladustamise ajal puhastatakse FOUPe perioodiliselt lämmastikuga, et vältida saasteainete kokkupuudet kiipide ja plaatidega, tagades puhta ja usaldusväärse tootmisprotsessi.
1. FOUPi funktsioonid ja tähtsus
FOUP-i põhifunktsioon on kaitsta plaate väliste löökide ja saastumise eest, vältides eelkõige saagikuse mõjutamist ülekande ajal. See hoiab tõhusalt ära niiskuse tekkimise selliste meetodite abil nagu gaasipuhastus ja lokaalse atmosfääri kontroll (LAC), tagades, et plaadid jäävad järgmise tootmisetapi ootuses ohutusse olekusse. Selle suletud ja kontrollitud süsteem laseb sisse ainult vajalikke ühendeid ja elemente, vähendades oluliselt lenduvate orgaaniliste ühendite, hapniku ja niiskuse kahjulikku mõju plaatidele.
Kuna 25 vahvliga täislaaditud FOUP võib kaaluda kuni 9 kilogrammi, peab selle transport tuginema automatiseeritud materjalikäitlussüsteemile (AMHS). Selle hõlbustamiseks on FOUP konstrueeritud erinevate ühendusplaatide, tihvtide ja aukude kombinatsioonidega ning varustatud RFID-elektrooniliste siltidega hõlpsaks tuvastamiseks ja klassifitseerimiseks. See automatiseeritud käsitsemine ei vaja peaaegu üldse käsitsi toiminguid, mis vähendab oluliselt veamäära ning parandab tootmisprotsessi ohutust ja täpsust.
2. FOUPi struktuur ja klassifikatsioon
FOUP-i tüüpilised mõõtmed on umbes 420 mm lai, 335 mm sügav ja 335 mm kõrge. Selle peamised konstruktsioonielemendid on: ülemine seenekujuline uks (OST) tõstukiga transportimiseks; esiuks seadmete kiibile juurdepääsuks; külgmised käepidemed, mis on sageli värvikoodiga tähistatud, et eristada erineva saastumistasemega protsessialasid; kaardiala sõnumikaartide paigutamiseks; ja alumine RFID-silt, mis toimib FOUP-i unikaalse identifikaatorina, võimaldades tööriistadel ja tõstukitel seda ära tunda. Alus on varustatud ka nelja identifitseerimis- ja positsioneerimisavaga tööriistadega sobitamiseks ja protsessialade eristamiseks.
Kasutuse põhjal liigitatakse FOUP-id kolme tüüpi: PRD (tootmiseks), ENG (inseneriplaatide jaoks) ja MON (monitoriplaatide jaoks). PRD FOUP-e saab kasutada toodete valmistamiseks, ENG tüübid sobivad teadus- ja arendustegevuseks või katseteks ning MON tüübid on ette nähtud protsesside jälgimiseks selliste etappide jaoks nagu CMP ja DIFF. Oluline on märkida, et PRD FOUP-e saab kasutada nii ENG kui ka MON eesmärkidel ning ENG tüüpe saab kasutada MON jaoks, kuid vastupidine toiming tekitab kvaliteediriske.
Saastetaseme järgi klassifitseeritud FOUP-id saab jagada FE FOUP-iks (eeltöötlusprotsess, metallivaba), BE FOUP-iks (tagatöötlusprotsess, sisaldab metalli) ja nendeks, mis on spetsialiseerunud konkreetsetele metalliprotsessidele, näiteks NI FOUP, CU FOUP ja CO FOUP. Erinevate protsesside FOUP-e eristatakse tavaliselt külgmiste käepidemete või uksepaneelide värvi järgi. Esitöötlusprotsesside FOUP-e saab kasutada tagatöötlusprotsessides, kuid tagatöötlusprotsesside FOUP-e ei tohi kunagi kasutada esitöötlusprotsessides, kuna see võib põhjustada saastumisohtu.
Pooljuhtide tootmise võtmetegurina tagab FOUP oma kõrge automatiseerimise ja range saastumiskontrolli abil vahvlite ohutuse ja puhtuse tootmisprotsessi ajal, muutes selle tänapäevastes vahvlitehastes asendamatuks infrastruktuuriks.
Kokkuvõte
XKH on pühendunud pakkuma klientidele ülimalt kohandatud eest avatavaid ühendatud pod-lahendusi (FOUP), järgides rangelt teie spetsiifilisi protsessinõudeid ja seadmete liidese spetsifikatsioone. Kasutades täiustatud materjalitehnoloogiat ja täppistootmisprotsesse, tagame, et iga FOUP-toode pakub erakordset õhutihedust, puhtust ja mehaanilist stabiilsust. Meie tehnilisel meeskonnal on põhjalikud valdkonnaalased teadmised, pakkudes igakülgset elutsükli tuge – alates valikukonsultatsioonist ja konstruktsiooni optimeerimisest kuni puhastamise ja hoolduseni –, tagades sujuva integratsiooni ja tõhusa koostöö FOUP-i ja teie automatiseeritud materjalikäitlussüsteemi (AMHS) ning töötlemisseadmete vahel. Meie põhieesmärkideks on pidevalt vahvlite ohutus ja tootmismahu suurendamine. Uuenduslike toodete ja kõikehõlmavate tehniliste teenuste kaudu pakume teie pooljuhtide tootmisprotsessidele kindlat garantiid, suurendades lõppkokkuvõttes tootmise efektiivsust ja toote saagist.
Postituse aeg: 08.09.2025